正置顯微鏡直線電機(jī)XY系列平臺，作為全新一代的高性能直驅(qū)電機(jī)，磁浮直線電機(jī)具有無回程間隙、精度高、動態(tài)速度范圍大、高可靠性以及免維護(hù)等傳統(tǒng)絲桿驅(qū)動系統(tǒng)不具備的優(yōu)點，海德星科技開創(chuàng)性的將半導(dǎo)體行業(yè)的磁浮直線電機(jī)率先用于顯微鏡掃描平臺上，使得顯微鏡平臺在掃描類應(yīng)用以及微觀領(lǐng)域操作突破了傳統(tǒng)產(chǎn)品的種種瓶頸。其永不磨損以及免維護(hù)的特點更是傳統(tǒng)電機(jī)完全無法比擬的，是高精度掃描、病理檢測、顯微操作、晶圓分析等各類先進(jìn)應(yīng)用的不二之選。

行程：                                  80mm（X軸） x  60mm（Y軸）
最小速度：                          ≤1um/s
最大速度：                          ≥100mm/s
最小步長*：                        ≤50nm
雙向重復(fù)定位精度**：      ≤1um（測試標(biāo)準(zhǔn)ISO230-2）
定位精度**：                      ≤±2um（測試標(biāo)準(zhǔn)ISO230-2）
正交性：                             ≤10arc·sec
電機(jī)：                                 磁浮直線電機(jī)
編碼器分辨率：                156nm（可選更高分辨率編碼器）
軸承：                                精密交叉滾珠軸承
限位方式：                        三重限位，軟限位+光電限位+機(jī)械限位
材質(zhì)：                                鋁合金6061-T6
表面處理方式：                黑色陽極氧化
重量：                                3.2kg
最大負(fù)載：                        ≤1.5kg

訂購須知    

1、訂購型號HDS-MS-XY8060LE156-I
2、訂購時請注明所使用的顯微鏡型號
      目前支持的顯微鏡型號為：
      OLMPUS（奧林巴斯）：CX4 / BX41 / BX43 / BX51 / BX53
      NIKON（尼康）：Ci / Ci-E / Ni
      ZEISS（蔡司）：AXIO SCOPE A1
      SUNNY OPTIC（舜宇光學(xué)）：CX40 / RX50
3、可選標(biāo)準(zhǔn)切片座（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品清單中不含切片座）
4、可選手動搖桿控制器
5、為了保護(hù)操作者及設(shè)備安全，廠家出廠時限制了最高速度及加速度，如有要求請咨詢廠家
6、如所使用型號未在支持的型號中，請直接咨詢廠家
7、可接受特殊定制