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關(guān)注:593
晶片傳送系統(tǒng)New wafer loader
聯(lián)盟體系共同開發(fā)的晶圓傳送系統(tǒng),可連結(jié)顯微鏡及其他制程生產(chǎn)腔體,將晶片從晶舟傳送至生產(chǎn)腔體內(nèi),過程中可提供晶圓表面及背面的巨觀檢測(cè),同時(shí)具有notch對(duì)位的功能??纱钆?/span>SMIF系統(tǒng)使用(選配)
咨詢
Technology
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Wafer Transfer automatic
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Function
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Front side, Back side inspection, Microscope
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Wafer size
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4~8inch
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Alignment
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Auto Alignment
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