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    包郵 關(guān)注:369

    E1200-用于科研的臥式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫(kù)       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    德國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥1000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Centrotherm

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備

     

    centrotherm E1200專(zhuān)為用于科研項(xiàng)目而設(shè)計(jì)的，適用于小批量生產(chǎn)和高性能用戶(hù)，對(duì)各種要求的高工藝具有的靈活性。

    centrotherm E1200小批量實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)，支持多種工藝能力，適用小批量生產(chǎn)和高性能用戶(hù)，在較小占地面積上即可提供批量生產(chǎn)的所有特征

     

    適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
    特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
    先進(jìn)的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒(méi)有熱干擾
    全自動(dòng)片架傳送系統(tǒng)
    模塊化部件設(shè)計(jì)，便于在潔凈室安裝調(diào)試
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    • 可達(dá)5層石英管或SiC管反應(yīng)腔[硅片可達(dá)200mm]
      可選擇工藝腔體
    • 潔凈自動(dòng)化的裝舟用于特級(jí)硅片工藝或其它襯底處理
    • 全自動(dòng)片架傳送系統(tǒng)，工藝硅片尺寸可達(dá)200mm（E2000）
    • 先進(jìn)的冷卻系統(tǒng): 不同爐管之間沒(méi)有熱干擾
    • 對(duì)潔凈室環(huán)境溫度無(wú)影響
    • 模塊化部件設(shè)計(jì)便于在潔凈室安裝調(diào)試

     

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    4001027270

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