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E2000

大批量生產(chǎn)的臥式爐

centrotherm 2000專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，支持多種工藝能力，適用于大批量生產(chǎn)和高工藝性能的用戶，并具有突出的高性能、占地面積小、低購(gòu)置成本等優(yōu)勢(shì)。該產(chǎn)品對(duì)多種應(yīng)用要求的高工藝具有的靈活性，并可高達(dá)4層石英管或硅片尺寸可達(dá)300毫米的SiC工藝管

適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
先進(jìn)的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒(méi)有熱干擾
全自動(dòng)片架傳送系統(tǒng)
模塊化部件設(shè)計(jì)，便于在潔凈室安裝調(diào)試

E2000-大批量生產(chǎn)的臥式爐

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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