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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 爐類設(shè)備 » 高溫爐 »Oxidator150-高溫氧化爐
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    Oxidator150-高溫氧化爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-高溫爐

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    1000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:Centrotherm

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-高溫爐

     

    Oxidator 150

    高溫氧化爐

     

    Oxidator 150 高溫爐由 centrotherm thermal solutions 設(shè)計(jì)開發(fā),專門用于硅-碳化合物(SiC)的氧化處理。設(shè)備最高可承受 1400°C 的工藝溫度,氧化工藝使用 O2、N2O、NO、NO2 或濕法氧化氣體,靈活性和工藝質(zhì)量極佳。

    Oxidator 150 裝有非金屬加熱裝置和雙真空,是當(dāng)前市場上最安全的毒性氣體氧化爐。

     

    批量處理 2“、3“、100 mm 和 150 mm 硅片或任何其它組合
    最高加熱率可達(dá) 7.5 K/min
    批量規(guī)模高達(dá) 50片硅片(150 mm)
    工藝壓力:850 mbar 至常壓下

     

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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