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Veeco GEN930 研發(fā) MBE 系統(tǒng)

經(jīng)濟高效并可提供久經(jīng)驗證的優(yōu)異材料質(zhì)量的靈活解決方案。

GEN930® MBE 系統(tǒng)是開發(fā)氮化物和氧化物應(yīng)用中帶直接泵聯(lián)軸器的 III-V 族或 II-VI 族化合物材料的理想選擇。模塊化設(shè)計可確保獲得經(jīng)濟高效并可提供久經(jīng)驗證的優(yōu)異材料質(zhì)量的靈活解決方案。還可以根據(jù)請求，輕松集成用于對生長過程進行原位監(jiān)測的可選分析設(shè)備。

低成本的模塊化設(shè)計提高了根據(jù)需要擴展系統(tǒng)功能的靈活性
多功能平臺具有多種原位監(jiān)測技術(shù)：RHEED、高溫測量、橢圓偏振術(shù)、RGA、光學流量監(jiān)測和反射光譜
包含 Veeco GEN II MBE 系統(tǒng)（GaAs 和 AlGaAs 性能記錄保持者）的核心技術(shù)
包含行業(yè)最具創(chuàng)新性、可靠的源和組件

Veeco GEN930 研發(fā) MBE 系統(tǒng)

應(yīng)用于半導體行業(yè)：

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