服務(wù)熱線
4001027270
設(shè)備型號(hào):ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M
光學(xué)系統(tǒng):
曝光時(shí)間調(diào)解器:0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
365-400nm光強(qiáng)傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán);
聲控功率警報(bào)裝置可防止系統(tǒng)功率超過(guò)設(shè)定指標(biāo);
有安全保護(hù)裝置的溫度及其氣流傳感器;
全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度;
波長(zhǎng)濾片檢查及安裝裝置
抗衍射反射功能高效反光鏡;
二向色的防熱透鏡裝置;
防汞燈泄漏裝置;
配備蠅眼棱鏡裝置
配備近紫外(或深紫外)光源,
--220 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 8-10 mW/ cm2
--254 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 12-14 mW/ cm2
--365 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 18-20 mW/ cm2
--400 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 30-35 mW/ cm2
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背后對(duì)準(zhǔn)測(cè)試1: |
背后對(duì)準(zhǔn)測(cè)試2: |
主要配置:
6“,8”光源系統(tǒng)
可支持2“,3”,4“,6”,8“(圓/方片)及碎片光刻
手動(dòng)系統(tǒng),半自動(dòng)系統(tǒng)
支持電源350-2000 Watt
支持深紫外近紫外波長(zhǎng)(可選項(xiàng))
支持背后對(duì)準(zhǔn)及MEMS工藝要求
CCD或顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
主要性能指標(biāo):
光強(qiáng)均勻性Beam Uniformity::
--<±1% over 2” 區(qū)域
--<±2% over 4” 區(qū)域
--<±3% over 6” 區(qū)域
接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV):0.5 um
接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
支持接近式曝光,特征尺寸CD:
--0.8um 硬接觸
--1um 20um 間距時(shí)
--2um 50um 間距時(shí)
正面對(duì)準(zhǔn)精度 ± 0.5um
背面對(duì)準(zhǔn)精度±1um--±2um(Depends on user)
支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um
支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻
支持真空、接近式、接觸式曝光
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式
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