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    包郵 關(guān)注:711

    緊湊磁控濺射鍍膜機(jī)AP-MMS1 上海載德半導(dǎo)體

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    韓國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付



           磁控濺射鍍膜機(jī) - 緊湊,適合科研,極高性價(jià)比!

    型號(hào):AP-MMS1

    產(chǎn)地:韓國原裝進(jìn)口

     

    儀器特點(diǎn):

    1/ 沉積材料:金屬、氧化物等;

    2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底);

    3/ 沉積方式:直流磁控濺射,射頻磁控濺射;

    4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr;

     

    技術(shù)規(guī)格:

    1/ 最大樣品尺寸:6英寸;

    2/ 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;

    3/ 不銹鋼腔體,ID250 x H300 mm;

    4/ 真空泵:機(jī)械泵,150L/Min;

    5/ 靶槍:2英寸直徑 (選配:3英寸);

    6/ 直流電源:2KW(800V - 2.5A);

    7/ 氣體傳輸模塊:MFC控制,氬氣,100sccm;

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    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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