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4001027270
磁控濺射鍍膜機(jī) - 緊湊,適合科研,極高性價(jià)比!
型號(hào):AP-MMS1
產(chǎn)地:韓國(guó)原裝進(jìn)口
儀器特點(diǎn):
1/ 沉積材料:金屬、氧化物等;
2/ 膜厚均勻性:≤ ± 5 % (4英寸基底);
3/ 沉積方式:直流磁控濺射,射頻磁控濺射;
4/ 極限真空:5.0 x 10 -6 Torr;
技術(shù)規(guī)格:
1/ 最大樣品尺寸:6英寸;
2/ 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;
3/ 不銹鋼腔體,ID250 x H300 mm;
4/ 真空泵:機(jī)械泵,150L/Min;
5/ 靶槍:2英寸直徑 (選配:3英寸);
6/ 直流電源:2KW(800V - 2.5A);
7/ 氣體傳輸模塊:MFC控制,氬氣,100sccm;
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