服務(wù)熱線
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真空度及抽速 | 濺射室極限真空度:≤6x10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后); 系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5x10-7Pa.l/S; 系統(tǒng)從大氣開始抽氣:濺射室35分鐘可達(dá)到6x10-4 Pa; 系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤5Pa; |
真空獲得及測(cè)量 | 復(fù)合分子泵+機(jī)械泵+超高真空插板閥。采用數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)測(cè)量:10-5Pa到大氣壓 |
真空室 | 真空室為圓筒形立式前開門結(jié)構(gòu),尺寸約Ф450mmx600mm,全不銹鋼結(jié)構(gòu)??蓛?nèi)烘烤到100~150℃,選用不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面進(jìn)行化學(xué)拋光處理,接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封;手動(dòng)前開門結(jié)構(gòu) |
磁控靶 | 進(jìn)口2英寸永磁靶,3支,其中一支為強(qiáng)磁靶(濺射鐵磁性材料);射頻與直流兼容;單獨(dú)氣動(dòng)擋板。 |
樣品 | 樣品尺寸≤Φ100mm;可加熱室溫—600°C,熱電偶閉環(huán)控制。5—10轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào),單獨(dú)擋板,可加-200V偏壓。 |
配套電源 | 直流電源500W,2臺(tái);射頻電源(13.56MHz)500W,自動(dòng)匹配:1臺(tái) |
氣路 | 100SCCM(Ar)、50SCCM(O2)質(zhì)量流量控制器 |
水冷系統(tǒng) | 冷卻循環(huán)水機(jī)組,制冷量3KW。相關(guān)分水器,閥門等。水路報(bào)警系統(tǒng)。 |
控制系統(tǒng) | 自動(dòng)或手動(dòng) |
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