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URE-2000/35型紫外光刻機 成都晶普科技有限公司
產(chǎn)品品牌
晶普
庫 存:
100
產(chǎn) 地:
全國
產(chǎn)品名稱:URE-2000/35型紫外光刻機
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主要技術指標:
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曝光面積:100mm×100mm |
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠) |
對準精度:±0.8μm |
最大膠厚:300μm(SU8膠) |
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch |
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm); |
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍) |
汞燈功率:350W(直流) |
掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
技術特點:
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創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復位實現(xiàn)自動化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。 |
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