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簡單介紹:光刻機:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用采用雙目雙視場顯微鏡對準;球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關,操作方便、實用性強。整機具有性能可靠、操作方便等特點。
一.技術特征
1、采用國內(nèi)獨創(chuàng)的多點梯形反射鏡聚光和實現(xiàn)均勻照明,具有高的能量收集率和高均勻性照明性;
2、采用進口直流高壓汞燈,光功率穩(wěn)定;
3、采用i線(365nm)紫外曝光光源,波長單一,光譜純凈;
4、高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22英寸寬屏液晶,可同時觀察對準過程,適用大視場高倍率對準;
5、采用薄膜開關操作,數(shù)字設定曝光時間,倒計時數(shù)顯,曝光量可精確控制;
6、配置無油真空泵,無污染,噪音??;
7、關鍵器件采用進口國際品牌產(chǎn)品,整機可靠性高。
二.技術參數(shù)
1、曝光面積:110mm×110mm
2、曝光波長:365nm(純凈光源)
2、分辨力: 1.5µm
3、對準精度::± 1µm
4、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
7、照明均勻性:±5%
9、掩模相對于樣片運動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率:200W(直流、德國歐司朗)
11、曝光量設定:定時曝光 定時(到計時方式 0.1s-9999.9s任意設定、設定精度0.1s)
12、雙目雙視場顯微鏡:物鏡三隊:4X、10X、20X,目鏡三對:10X、16X、20X
應用領域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
URE系列紫外光刻機系我公司重點推薦產(chǎn)品
曾出口:新加坡,韓國,朝鮮,緬甸,老撾等
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