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SR300 光譜反射薄膜測(cè)厚儀
◆ 波長(zhǎng)范圍:400到1100 nm
◆ 光斑尺寸:500μm至5mm
◆ 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
◆ 基板尺寸:最多可至50毫米厚
◆ 測(cè)量厚度范圍:20nm到50μm
◆ 測(cè)量時(shí)間:最快2毫秒
◆ 精確度:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
◆ 重復(fù)性誤差:小于1
SR300特點(diǎn)
◆ 易于安裝
◆ 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
◆ 先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
◆ 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng),以確??焖贉y(cè)量
◆ 獨(dú)特的光源設(shè)計(jì),有著較好的光源強(qiáng)度穩(wěn)定性
◆ 有四種方法來(lái)調(diào)整光的強(qiáng)度:
§ 通過(guò)電源的調(diào)節(jié)旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)電源輸出的大小
§ 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來(lái)調(diào)整
§ 調(diào)整光束大小
§ 通過(guò)TFProbe軟件,在探測(cè)器里調(diào)整積分時(shí)間
◆ 最多可測(cè)量5層的薄膜厚度和折射率
◆ 在毫秒的時(shí)間內(nèi),可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
◆ 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的厚度、折射率測(cè)量
◆ 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫(kù)
◆ 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品,用戶可以利用先進(jìn)的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型(EMA)測(cè)量分析;
◆ 可升級(jí)至MSP(顯微分光光度計(jì))系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點(diǎn)測(cè)量。
◆ 通過(guò)模式和特性結(jié)構(gòu)直接測(cè)量。
◆ 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度的基片測(cè)量。
◆ 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測(cè)量,例如通過(guò)曲線表面進(jìn)行縱長(zhǎng)測(cè)量。
◆ 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。
SR300系統(tǒng)配置
◆ 型號(hào):SR300
◆ 探測(cè)器: 2048像素的CCD線陣列
◆ 光源:高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?span>
◆ 光傳送方式:光纖
◆ 臺(tái)架平臺(tái):特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小
◆ 軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
◆ 通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
◆ 測(cè)量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
◆ 電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
◆ 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
◆ 保修:一年的整機(jī)及零備件保修
SR300應(yīng)用
◆ 半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
◆ 液晶顯示(ITO,PR,cell gap... ..)
◆ 醫(yī)學(xué),生物薄膜及材料領(lǐng)域等
◆ 油墨,礦物學(xué),顏料,墨粉
◆ 醫(yī)藥,中間設(shè)備
◆ 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
◆ 半導(dǎo)體化合物
◆ 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
◆ 非晶體,納米材料和結(jié)晶硅
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