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    包郵 關(guān)注:460

    DS-2000/14K型光刻機(jī) 上海佰芯

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-上海市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

    DS-2000/14K型光刻機(jī) 上海佰芯 設(shè)備商城

    ◆光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線);
    ◆照明均勻性:2%;
    ◆物鏡倍率:14倍
    ◆曝光場(chǎng)面積:1mm×0.75mm
    ◆光刻分辨力:1 μm
    ◆工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍:X:100mm、 Y:100mm;
    工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度:0.65μm;
    ◆調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度:1μm;
    ◆對(duì)準(zhǔn)精度:2μm;
    ◆調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程:6mm
    ◆檢焦:CCD檢測(cè),檢測(cè)精度2微米
    ◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程:±6°以上
    ◆基片尺寸
    外徑:Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm

    ◆外形尺寸:840mm(長(zhǎng))450mm(寬) 830mm(高)

    技術(shù)特征◆采用DMD作為數(shù)字掩模,像素1024768
    ◆采用14倍縮小投影光刻物鏡成像,一次曝光面積約1mm×0.75
    ◆采用專利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。
    ◆采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接,可適應(yīng)100mm100mm基片。
    ◆采用CCD檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)調(diào)平、自動(dòng)逐場(chǎng)調(diào)焦或自動(dòng)選場(chǎng)調(diào)焦曝光。
    ◆具備對(duì)準(zhǔn)功能

    配置◆照明系統(tǒng)
       350W
    直流汞燈(德國(guó))、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場(chǎng)鏡組、365nm濾光片、氣動(dòng)快門、DMD(美國(guó)德州儀器)、冷卻風(fēng)扇。
    ◆投影物鏡(可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)增加,如2.8倍、5倍、10倍等)
    ◆分辨力1μm(縮小倍率14倍)
    ◆工件臺(tái)系統(tǒng)
     X
    臺(tái):電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵(美國(guó))
     Y
    臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵2(美國(guó))
      
    轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂孜),轉(zhuǎn)動(dòng)軸系
     Z
    臺(tái):電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器(日本樂孜)、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
      
    承片臺(tái):3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
    ◆檢焦系統(tǒng)
      
    焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件
    ◆對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
      對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、對(duì)準(zhǔn)軟件
    ◆電控系統(tǒng)
       汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器(19英寸液晶)、接口
    ◆花崗巖平臺(tái)
    ◆控制柜桌
    ◆氣動(dòng)系統(tǒng)
     
    電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
    ◆技術(shù)資料:操作說明書
    ◆選配件
      350W
    直流高壓汞燈(每增加1只3000元)、承片臺(tái)(每增加1個(gè)800元),投影物鏡(每增加一種2.2萬)
    ◆其他附件
    真空泵一臺(tái)(無油泵)
    空壓機(jī)一臺(tái)(靜音泵)
    管道
    ◆技術(shù)資料
    使用維修說明書
    使用操作DVD

    安裝環(huán)境要求◆要求的站地面積:2m1.5m
    ◆供電要求:交流220V,8A
    ◆潔凈度:最好優(yōu)于10000級(jí)

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