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DS-2000/14G型光刻機(jī) 上海佰芯 設(shè)備商城
◆ 光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線);
◆ 照明均勻性:2%;
◆ 物鏡倍率:14倍
◆ 曝光場面積:1mm×0.75mm
◆ 光刻分辨力:1 μm
◆ 工件臺運(yùn)動范圍:X:100mm、 Y:100mm;
工件臺運(yùn)動定位精度:0.65μm;
◆ 調(diào)焦臺運(yùn)動靈敏度:1μm;
◆ 對準(zhǔn)精度:2μm;
◆ 調(diào)焦臺運(yùn)動行程:6mm
◆ 檢焦:CCD檢測,檢測精度2微米
◆ 轉(zhuǎn)動臺行程:±6°以上
◆ 基片尺寸
外徑:Ф1mm—Ф100mm,厚度:0.1mm--5mm
◆ 外形尺寸:840mm(長)450mm(寬) 830mm(高)
技術(shù)特征◆采用DMD作為數(shù)字掩模,像素1024768
◆采用14倍縮小投影光刻物鏡成像,一次曝光面積約1mm×0.75
◆采用專利技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。
◆采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)◆口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接,可適應(yīng)◆100mm100mm基片。
◆采用CCD檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場調(diào)平、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。
◆具備對準(zhǔn)功能
配置◆照明系統(tǒng)
350W直流汞燈(德國)、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm濾光片、氣動快門、DMD(美國德州儀器)、冷卻風(fēng)扇。
◆投影物鏡(可根據(jù)用戶要求設(shè)計增加,如2.8倍、5倍、10倍等)
◆分辨力1μm(縮小倍率14倍)
◆工件臺系統(tǒng)
X臺:電機(jī)驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵(美國)
Y臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導(dǎo)軌2(日本THK)、光柵2(美國)
轉(zhuǎn)動臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜),轉(zhuǎn)動軸系
Z臺:電機(jī)及驅(qū)動器(日本樂孜)、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
◆檢焦系統(tǒng)
焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
◆對準(zhǔn)系統(tǒng)
對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、對準(zhǔn)軟件
◆電控系統(tǒng)
汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計算機(jī)、監(jiān)視器(19英寸液晶)、接口
◆花崗巖平臺
◆控制柜桌
◆氣動系統(tǒng)
電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
◆技術(shù)資料:操作說明書
◆選配件
350W直流高壓汞燈(每增加1只3000元)、承片臺(每增加1個800元),投影物鏡(每增加一種3萬)
◆其他附件
真空泵一臺(無油泵)
空壓機(jī)一臺(靜音泵)
管道
◆技術(shù)資料
使用維修說明書
使用操作DVD
安裝環(huán)境要求◆要求的站地面積:2m1.5m
◆供電要求:交流220V,8A
◆潔凈度:最好優(yōu)于10000級
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