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半自動(dòng)劃片晶圓貼膜機(jī)

(型號(hào):SWM-100)

技術(shù)參數(shù)

1. 主要規(guī)格

1.1 框架尺寸: 6或8英寸（DISCO標(biāo)準(zhǔn)）客戶指定

1.2 膜種類: 藍(lán)膜或者UV膜

寬度: 230毫米（6英寸框架）300毫米（8英寸框架）

長(zhǎng)度: 100米

厚度: 0.05~0.2毫米

1.3 晶圓規(guī)格： 4，5，6，8英寸客戶指定

1.4 晶圓厚度: 150-750um

1.4 貼膜原理: 防靜電滾輪貼膜（自動(dòng)貼膜）

1.5 工作臺(tái)盤: 特氟隆涂層接觸式臺(tái)盤（工作臺(tái)有加熱,溫度為:常溫-100°C）

1.6 裝卸方式: 產(chǎn)品手動(dòng)放置與取出

1.7 切割系統(tǒng): 直線刀切割僅在框架以外5毫米處，圓切割刀順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)切割。

獨(dú)特的直切刀技術(shù)保證在同類機(jī)臺(tái)膠膜應(yīng)用最節(jié)省

1.8產(chǎn)品定位: CHUCK TABLE上對(duì)應(yīng)WAFER形狀的刻線,真空吸固定WAFER

1.9電力供應(yīng): 單相交流電220V,5A

1.10壓縮空氣: 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

1.11體積: 560毫米(寬)*860毫米(深)*510毫米(高)

1.12凈重: 75公斤

2. 機(jī)器性能:

2.1 晶圓收益: >=99.9%

2.2 貼膜質(zhì)量: 沒有氣泡(不包括碎粒氣泡)

2.3 每小時(shí)產(chǎn)能: >=80 片

3. 安裝,培訓(xùn)及驗(yàn)收:

3.1 賣方負(fù)責(zé)將機(jī)器安裝,調(diào)機(jī),試運(yùn)行及性能測(cè)試

3.2 賣方給于買方內(nèi)部操作員工,工程師, 維護(hù)人員完善的技術(shù)培訓(xùn)直到他們可以穩(wěn)定獨(dú)立地操

作機(jī)器

4. 保修條款:

4.1 賣方保證設(shè)備完全滿足買方正常生產(chǎn)要求及購買規(guī)格
4.2 保修期為買方正式驗(yàn)收起12個(gè)月內(nèi)

5. 其他說明 :

5.1 設(shè)備自動(dòng)拉膜，自動(dòng)貼膜，達(dá)到省力，易操作的效果

5.2 自動(dòng)貼膜，貼膜質(zhì)量好，貼膜壓力可以調(diào)節(jié)

5.3 自動(dòng)拉膜能夠良好的控制每片的拉膜長(zhǎng)度，讓膜在前后兩邊超出鐵環(huán)長(zhǎng)度控制在1cm左右，達(dá)到省膜的效果

5.4 雙層膜的隔離層采用力拒馬達(dá)回收

5.5 設(shè)備電器，氣動(dòng)等標(biāo)準(zhǔn)件采用進(jìn)口品牌

半自動(dòng)晶圓貼膜機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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