服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
Saqua系列 12英寸單片清洗機(jī)采用單片晶圓旋轉(zhuǎn)濕法清洗技術(shù),此設(shè)備具有清洗選擇性好、清洗效率高等技術(shù),包括化學(xué)藥液保護(hù)系統(tǒng)、管路防靜電系統(tǒng)、兆聲波系統(tǒng)等。在保證不損傷產(chǎn)品本身結(jié)構(gòu)的前提下,選擇性的清洗殘留物。
應(yīng)用領(lǐng)域
90-28nm 集成電路、先進(jìn)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)
適用工藝
前道工藝:成膜前/后清洗、柵極清洗、硅化物清洗、化學(xué)機(jī)械平坦化后清洗、標(biāo)準(zhǔn)RCA清洗
后道工藝:通孔刻蝕后的清洗、溝槽刻蝕后的清洗、襯墊去除后的清洗、鈍化層清洗
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
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