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    SFQ\DYX\ECD濕化學工藝設備

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    產(chǎn)       地：

    中國

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    SFQ系列濕法清洗設備 

    SFQ/SFQZ系列濕法設備廣泛應用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導體材料加工、太陽能光伏等領域，用于各種半導體基片及類似材料制造過程中濕化學處理工藝，有手動、半自動及全自動三種配置。

    六大專有技術

    濕法清洗設備系統(tǒng)集成技術

    氣/液自動傳輸及控制技術

    材料與化學工程防護技術

    溫度傳遞及精確控制技術

    晶片自動傳輸及自動控制技術

    溶液流場均勻性控制技術

    主要技術特點：

    系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：設計緊湊、潔凈、防腐、安全、多種式樣機架可供選擇

    控制方式：采用高性能PLC或工控機實現(xiàn)集中控制，結(jié)合單元功能控制簡化操作

    槽體配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不銹鋼等多種材料
       
       功能：恒溫控制（加熱    /制冷）、循環(huán)、過濾、自動補液、抖動、旋轉(zhuǎn)、超聲/兆聲、溢流、快排、鼓泡、干燥等

    定制設計：根據(jù)用戶要求提供工藝配置及技術支持

    ECD系列:


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    應用于半導體行業(yè)的相關同類產(chǎn)品：

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