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    T系列—納微檢測儀 蘇州愛特盟

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面、內(nèi)部檢測

    產(chǎn)品品牌

    蘇州愛特盟

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：蘇州愛特盟

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面、內(nèi)部檢測

    【T系列—納微檢測儀】
     
     專利號：ZL201220088148.1
     
    功能描述：   
    1. 可測微觀尺寸范圍：0.5～1000微米；
    2. 專利套刻算法軟件系統(tǒng)，可換算9大套刻工藝參數(shù)；
    3. 高精度開放式線性反饋系統(tǒng)，可測點距范圍：1.0～200毫米；
    4. 全面的觀察手段：自由切換透射、反射、環(huán)形照明及明、暗場觀察法；
    5. 高精度快速自動聚焦，排除人為誤差；
    6. 配備安全的電氣及操作防護(hù)系統(tǒng)，保障運行更安全穩(wěn)定。
     
     
    系統(tǒng)配置：
     
    用途
    1. 微觀尺寸、套刻分析  2. 點距測量  3. 缺陷標(biāo)注
    型號
    TJC-750A
    載物臺   
    行程：158mm x 158mm/210mm x 210mm可選
    手動/自動載物臺可選，自動上下片裝卸裝置可選
    支持夾具定制
    反饋系統(tǒng)
    線性反饋尺，解析率：1.0um/ 0.1um可選
    聚焦
    電動聚焦系統(tǒng)，影像/ 激光自動聚焦可選
    探測系統(tǒng)
    高品質(zhì)工業(yè)用顯微鏡，5x～150x 物鏡可選
    照明系統(tǒng)
    透射、反射照明可選，可切換明、暗場觀察法
    軟件系統(tǒng)
    全功能圖像處理軟件系統(tǒng)及批處理測控語言，支持拼圖功能，
    提供各類數(shù)據(jù)庫接口，可將測量結(jié)果上傳至工藝主控終端
    檢查性能
    微觀兩維尺寸檢測3σ≤10納米，
    精度 ±10納米
    全行程點距誤差 （2+2L/100）um， L:行程（mm）
    隔震系統(tǒng)
    隔振平臺，有效隔離高頻振動
    標(biāo)配外觀尺寸
    長：1200mm   寬：800mm   高：1500mm

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