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    包郵 關(guān)注:385

    脈沖激光分子束外延 (Pulsed Laser MBE) 高德

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-其他

    產(chǎn)品品牌

    高德

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:高德

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-其他

    脈沖激光分子束外延 (Pulsed Laser MBE)

     

    工作原理:

    高功率脈沖激光束聚焦在腔體并轟擊用來沉積的靶材。吸收了高能量的激光,靶材會(huì)被激發(fā),蒸發(fā),濺射和形成等離子體。最后在存底上沉積成薄膜。這個(gè)過程可在超高真空或存在背景氣體下(常用氧氣)發(fā)生。

     

     

    特點(diǎn):

    • 超高真空環(huán)境(
    • 6個(gè)可旋轉(zhuǎn) 的PLD靶
    • 高功率準(zhǔn)分子激光
    • 全計(jì)算機(jī)控制與數(shù)據(jù)記錄
    • 多個(gè)沉積源
    • 先進(jìn)的原位樣品溫度和膜厚監(jiān)控
    • 定制的組合泵

     

     

    應(yīng)用范圍:

    • 氧化物半導(dǎo)體
    • 高Tc超導(dǎo)體
    • 光學(xué)晶體
    • 電光薄膜
    • 鐵電和鐵磁材料

     

     

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