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NMC-3000 等離子輔助MOCVD系統(tǒng)概述:NANO-MASTER針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動(dòng)控制,完全的安全互鎖。
目前,這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
NMC-3000 等離子輔助MOCVD系統(tǒng)應(yīng)用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-3000 等離子輔助MOCVD系統(tǒng)特點(diǎn):
NMC-3000 等離子輔助MOCVD系統(tǒng) Features:
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