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ZLH706激光劃片機(jī)

ZLH706激光劃片機(jī)選用工業(yè)激光器，直線電機(jī)工作臺(tái)以及直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，輔以CCD影像監(jiān)視定位，對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行切割。ZLH激光劃片機(jī)采用了交互式人機(jī)操作界面，15寸高精度觸摸屏幕，操作便捷，大大提高工作效率。ZLH706激光劃片機(jī)主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路晶圓、GPP二極管晶圓的切割何切片，太陽(yáng)能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅的切割和劃片，GPP可控硅的切線切割以及LOW-K材料的開(kāi)槽切割等方面。

ZLH706激光劃片機(jī)技術(shù)指標(biāo)

最大加工尺寸	?	Φ6英寸
最大切割深度	?	Max0.120mm
激光器功率	?	20W
切割速度	?	輸入范圍：1-150mm/s
X軸	驅(qū)動(dòng)方式	直線電機(jī)
	工作行程	Max160mm
	分辨率	0.001mm
	單步步進(jìn)量	0.001mm
	定位精度	0.006mm以內(nèi)/150mm
	重復(fù)定位精度	0.002mm
Y軸	驅(qū)動(dòng)方式	直線電機(jī)
	工作行程	Max160mm
	分辨率	0.001mm
	單步步進(jìn)量	0.001mm
	定位精度	0.006mm以內(nèi)/150mm
	重復(fù)定位精度	0.002mm




θ軸	驅(qū)動(dòng)方式	DD馬達(dá)
	最大旋轉(zhuǎn)角度	360°
	旋轉(zhuǎn)速度	120rpm
	分辨率	0.0005deg


基礎(chǔ)系統(tǒng)	操作系統(tǒng)	Windows
	操作界面	中文
	顯微鏡光源	LED
	顯微鏡光源	LED
工作條件	電源	AC兩相220-240V 50HZ
	最大耗電量	1.5Kw
	壓縮空氣供給壓力	0.4～0.8MPa
	排風(fēng)量（工廠自備）	5m³/min
?	設(shè)備尺寸（WDH）	1220mm×810mm×1650mm
?	設(shè)備重量	660KG

ZLH706激光劃片機(jī)

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