該系列可用于最大300mm的晶圓或者12x12寸的基板,具備便攜桌上式,內(nèi)嵌
式和移動(dòng)柜式三種類(lèi)型。
SAWATEC為一般半導(dǎo)體光刻,微電機(jī)光刻以及類(lèi)似的應(yīng)用中的軟烤和硬烤工藝
提供不同類(lèi)型的熱板。手動(dòng)的熱板擁有堅(jiān)實(shí)的部件,并且操作也簡(jiǎn)單。由于熱板
實(shí)際運(yùn)行溫度曲線(xiàn)和設(shè)定的溫度差別非常小,因此涂層的質(zhì)量能夠得到很好的
保障。