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瑞士 sawatec HP-150 熱版機(jī)

詳細(xì)介紹

電爐 HP - 150

精密軟硬烘烤

該熱板HP-150是為典型的軟烘焙和硬烘焙工藝的巖性，在MEMS和類(lèi)似的應(yīng)用。默認(rèn)情況下，溫度范圍設(shè)計(jì)為250℃以下。設(shè)定的溫度和溫度分布具有較窄的邊界，這意味著可以達(dá)到較高的涂層質(zhì)量。HP系列產(chǎn)品具有較高的均勻性和高精度的工藝重復(fù)性，令人信服。可用于直徑150mm以下，最大厚度5mm的襯底。

熱板易于平整，防止光刻膠通過(guò)真空手動(dòng)固定基板的放電手動(dòng)加載和卸載基板。

性能數(shù)據(jù)

溫度范圍:環(huán)境溫度250℃以下溫度精度:100℃時(shí)+/- 1℃

額外的功能(選項(xiàng))

氮?dú)馐謩?dòng)沖洗，不氧化

簡(jiǎn)單的設(shè)置工具，為優(yōu)化對(duì)齊的熱板

功能(基本配置)

溫度控制采用數(shù)字目標(biāo)值和實(shí)際值顯示，溫度自動(dòng)限位開(kāi)關(guān)，無(wú)過(guò)熱現(xiàn)象

熱板采用安全玻璃，清洗方便

需要媒體

230 VAC 50/60Hz 10A (350W)

技術(shù)真空,管Ø6/4mm(-0.8條)BT排氣排氣扇

瑞士質(zhì)量

瑞士 sawatec HP-150 熱版機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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