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C30經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān),所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。
本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制,性價(jià)比高,是同類(lèi)產(chǎn)品中價(jià)格最低的一款。
特點(diǎn)
國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品價(jià)格最低
穩(wěn)定性和可靠性高
±0.2%F.S.的高重復(fù)精度
滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
同類(lèi)產(chǎn)品尺寸最小
安裝尺寸國(guó)際兼容
應(yīng)用
真空鍍膜設(shè)備
微反應(yīng)裝置
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測(cè)試設(shè)備
氣相色譜儀及其它分析儀器
標(biāo)定氣體:氮?dú)?N2)
標(biāo)定溫度和壓力: 溫度—273.15 K(0℃)
氣壓—101325 Pa(760mm Hg)
輸入輸出信號(hào)
0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)
0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1,2,3,5,10,20,10SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~10SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
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