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    包郵 關(guān)注:491

    C30熱式氣體質(zhì)量流量控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-MFC-無(wú)毒氣體類(lèi)

    產(chǎn)品品牌

    邁測(cè)儀器

    發(fā)貨期限:

    3天天

    庫(kù)       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:邁測(cè)儀器

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-MFC-無(wú)毒氣體類(lèi)

     概要

     

    C30經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器和C30M型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,其中質(zhì)量流量控制器可以對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān),所以氣體的溫度和壓力變化不會(huì)影響到測(cè)量值。

    本型號(hào)產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制,性價(jià)比高,是同類(lèi)產(chǎn)品中價(jià)格最低的一款。


    特點(diǎn) 

    國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品價(jià)格最低

    穩(wěn)定性和可靠性高

    ±0.2%F.S.的高重復(fù)精度

    滿量程可以在 5SCCM到 10SLM的范圍內(nèi)任意定制

    可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體

    同類(lèi)產(chǎn)品尺寸最小

    安裝尺寸國(guó)際兼容

     

    應(yīng)用 

               真空鍍膜設(shè)備

    微反應(yīng)裝置

    晶體制備設(shè)備

    混氣配氣設(shè)備

    燃燒測(cè)試設(shè)備

    氣相色譜儀及其它分析儀器 

          標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)                        

             標(biāo)定氣體:氮?dú)?N2)

            標(biāo)定溫度和壓力:  溫度—273.15 K(0℃)

                                 氣壓—101325 Pa(760mm Hg)


    輸入輸出信號(hào)

    0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)


    流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

     

             0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

             0~1,2,3,5,10,20,10SLM

             注:滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~10SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。

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    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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