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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體器件 » MFC » 無毒氣體類 »ALICAT基本型氣體質(zhì)量流量計/控制器
    包郵 關(guān)注:474

    ALICAT基本型氣體質(zhì)量流量計/控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-MFC-無毒氣體類

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    美國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-MFC-無毒氣體類

     :產(chǎn)品描述::

     

    美國ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器,美國ALICAT 11系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差專利技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制
    器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100ms的控制速度,并保持極佳穩(wěn)定性。

    產(chǎn)品特點 

    ● 低價位產(chǎn)品
    ● 標(biāo)配模擬控制方式,數(shù)字可選
    ● 高量程比 200:1
    ● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))

    技術(shù)參數(shù) 

    介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

    介質(zhì)種類:單種氣體標(biāo)定,請參考背面氣體兼容表

    量程:從0-10SCCM 到 0-20SLPM(詳情請咨詢)

    量程比:200:1

    最大顯示流量:102.4%FS

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

    重復(fù)性:± 0.2% FS

    零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm

    預(yù)熱時間:<1s

    響應(yīng)時間:100ms(可調(diào))

    標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓

    工作溫度:-10 ~ +50 ºC

    工作濕度:0-100%,無冷凝

    標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力:1MPa 表壓

    標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

    中壓選項:2MPa

    模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

    數(shù)字輸入/輸出信號:可選RS-232

    供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

    供電電流:250mA

    電氣接口:DB15

    材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、

    黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃

    安裝方式:對位置無要求 防護等級:IP40

    應(yīng)用及案例 

    ● 大學(xué)/研究所
    ● 環(huán)境監(jiān)測
    ● 真空鍍膜
    ● 工業(yè)爐窯
    ● 半導(dǎo)體
    ● 汽車制造
    ● 光伏
    ● 燃料電池
    ● 計量
    ● 過程工藝氣體測量

     

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