網(wǎng)站首頁
購物車
用戶中心
全部產(chǎn)品分類
提示信息
免費咨詢行業(yè)專家
.png)
服務(wù)熱線
4001027270
一、主要用途及特點：
1.1本機主要用于硅片、藍(lán)寶石、ITO玻璃基板、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。
1.2該機采用可編程控制器(PLC)控制。可編程人機界面終端(PT)顯示并設(shè)定（通過觸摸屏）各項工作參數(shù)（壓力、時間、速度、緩降壓力、浮動時間）及工作狀態(tài)。
1.3該機具有研磨盤自動稱重功能，以此配合研磨壓力設(shè)定，可自動消除由于盤面磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而保證了同樣加工工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量）的穩(wěn)定性。
1.4該機可由用戶設(shè)定存貯多套二十段不同的工藝參數(shù)（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等），以供操作工調(diào)用。
1.5為了滿足某些特殊用戶的要求，該機的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運行，也可反轉(zhuǎn)運行（相對于齒圈和下研磨盤, 人機界面首屏上選定）。
二、設(shè)備基本參數(shù)
l 上下研盤尺寸：φ640mm×φ235mm×30mm
l 游星輪參數(shù)： 英制：Z＝108 DP12 α=20°
公制：Z＝114 M=2 α=20°
l 最小研磨厚度： 0.15mm
l 游星輪數(shù)量： 5個
l 加工能力 ： 40片/φ50mm，20片/φ75mm，10片/φ100mm
l 下盤轉(zhuǎn)速： 0-56rpm
l 主電機： 4kW AC380V 1460rpm
l 太陽輪電機： 0.75 kW AC380V 1400rpm
l 三相電泵： 1/4HP AC380V 70L/min
l 外型尺寸： 1000mm×1460mm×2620mm
l 重量： 約2000kg
三、設(shè)備的安裝及使用條件
3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱，專門用于設(shè)備搬運時吊裝，設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動源，無灰塵煙霧污染的場所。
設(shè)備安裝的條件為：
a、溫度10℃-25℃
b、相對濕度≤95%
c、電源電壓380±38V（三相五線制）
d、壓縮空氣源 0.4-0.6MPa
3.2、設(shè)備可直接放在地板上，調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平，校正時，用水平儀在下研盤上檢測（即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正），其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。
四、整機精度指標(biāo)
4.1、上下研磨盤平面度：≤0.02mm
4.2、下研磨盤端面跳動：≤0.06mm
購買之前，如有問題，請向我們咨詢
關(guān)于我們 | 購物指南 | 營業(yè)執(zhí)照 | 幫助中心 | 友情鏈接 | 聯(lián)系我們
Copyright? 半導(dǎo)體商城 2015-2022，All Rights Reserved
