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X61 D13B2M-6T型研磨機(jī)技術(shù)規(guī)格書
1.1、本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨。
1.2、高性能變頻器配合三相異步電動機(jī)拖動,實現(xiàn)了設(shè)備的軟啟動、軟停止等功能,調(diào)速穩(wěn)定、 沖擊小。
1.3、采用PLC控制,PT人機(jī)界面顯示設(shè)備各項運行參數(shù)。采用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓(輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變),選用荷重傳感器時時檢測工件受力,并將信號反饋給控制單元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制,壓力控制精確。
1.4、采用雙電機(jī)同步拖動,中心齒輪的變速(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))范圍廣,工藝調(diào)整方便;
1.5、該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調(diào)用。
1.6、該機(jī)具有研磨盤自動稱重功能,以此配合研磨壓力設(shè)定,從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)(所設(shè)壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量)的研磨效率長久不變.
1.7、該機(jī)的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運行,也可反轉(zhuǎn)運行(相對于齒圈和下研磨盤, 人機(jī)界面首屏上選定)。
二、主要技術(shù)參數(shù)
2.1、 研磨盤尺寸(外徑×內(nèi)徑×厚度):Φ927mm×Φ358mm×45mm
2.2、游星輪規(guī)格: Z=147 DP12 α=20°
2.3、游星輪數(shù)量: 6個
2.4、加工能力 : 108片/φ50mm,30片/φ100mm,18片/φ125mm
2.5、最小加工厚度: 0.20mm
2.6、下盤轉(zhuǎn)速: 0~60rpm
2.7、太陽輪轉(zhuǎn)速 0~30rpm
2.7、主電機(jī): 7.5kW 1460rpm
2.9、太陽輪電機(jī): 1.5kW 1400rpm
2.10、設(shè)備外形尺寸: 1600mm×1200mm×2850mm
2.11、設(shè)備質(zhì)量: 約3000kg
三、設(shè)備的安裝及使用條件
3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
設(shè)備安裝的條件為:
a、溫度10℃-25℃
b、相對濕度≤95%
c、電源電壓380±38V(三相五線制)
d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa
3.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整墊鐵可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。
四、整機(jī)精度指標(biāo)
4.1、上下拋光盤平面度:≤0.02mm
4.2、 下拋光盤端面跳動允差:≤0.06mm
五、基本配置
5.1、氣動元件 SMC、亞德客等
5.2、減速器 國產(chǎn)
5.3、軸承 國產(chǎn)
5.4、可編程控制器(PLC) OMRON
5.5、可編程人機(jī)界面PT OMRON
5.6、拉力傳感器 國產(chǎn)
5.7、變頻器 施耐德
5.8、 低壓電器 213、魏德米勒等
5.9、 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān) 213、和泉等
5.10電機(jī) 國產(chǎn)
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