X61 D13B2M-6T型研磨機(jī)技術(shù)規(guī)格書

1.1、本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨。

1.2、高性能變頻器配合三相異步電動機(jī)拖動，實現(xiàn)了設(shè)備的軟啟動、軟停止等功能，調(diào)速穩(wěn)定、 沖擊小。

1.3、采用PLC控制，PT人機(jī)界面顯示設(shè)備各項運行參數(shù)。采用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓（輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變），選用荷重傳感器時時檢測工件受力，并將信號反饋給控制單元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制，壓力控制精確。

1.4、采用雙電機(jī)同步拖動，中心齒輪的變速（即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn)）范圍廣，工藝調(diào)整方便；

1.5、該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝參數(shù)（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等），以供操作工調(diào)用。

1.6、該機(jī)具有研磨盤自動稱重功能，以此配合研磨壓力設(shè)定，從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量）的研磨效率長久不變.

1.7、該機(jī)的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運行，也可反轉(zhuǎn)運行（相對于齒圈和下研磨盤, 人機(jī)界面首屏上選定）。

二、主要技術(shù)參數(shù)

2.1、 研磨盤尺寸（外徑×內(nèi)徑×厚度）：Φ927mm×Φ358mm×45mm

2.2、游星輪規(guī)格：        Z=147  DP12  α=20°

2.3、游星輪數(shù)量：        6個

2.4、加工能力 ：         108片/φ50mm，30片/φ100mm，18片/φ125mm

2.5、最小加工厚度：      0.20mm

2.6、下盤轉(zhuǎn)速：          0～60rpm

2.7、太陽輪轉(zhuǎn)速          0～30rpm

2.7、主電機(jī)：            7.5kW    1460rpm

2.9、太陽輪電機(jī)：        1.5kW    1400rpm

2.10、設(shè)備外形尺寸：      1600mm×1200mm×2850mm

2.11、設(shè)備質(zhì)量：          約3000kg

三、設(shè)備的安裝及使用條件

3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱，專門用于設(shè)備搬運時吊裝，設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動源，無灰塵煙霧污染的場所。

    設(shè)備安裝的條件為：

      a、溫度10℃-25℃

      b、相對濕度≤95%

      c、電源電壓380±38V（三相五線制）

      d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa

3.2、設(shè)備可直接放在地板上，調(diào)整墊鐵可校正設(shè)備的水平，校正時，用水平儀在下研盤上檢測（即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正），其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

四、整機(jī)精度指標(biāo)

4.1、上下拋光盤平面度：≤0.02mm

4.2、 下拋光盤端面跳動允差：≤0.06mm

五、基本配置

5.1、氣動元件        　　　                    SMC、亞德客等

5.2、減速器　　　　　　　　　　                國產(chǎn)

5.3、軸承      　　　　　　                    國產(chǎn)

5.4、可編程控制器（PLC）                       OMRON  

5.5、可編程人機(jī)界面PT　                        OMRON

5.6、拉力傳感器              　　　　           國產(chǎn)

5.7、變頻器　　　　　　　                       施耐德

5.8、 低壓電器       213、魏德米勒等

5.9、 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)                213、和泉等

5.10電機(jī)                                        國產(chǎn)