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    X61 D13B2M-9T型雙面研磨機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-研磨機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    13.9B雙面研磨機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:13.9B雙面研磨機

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-研磨機

     X61 D13B2M-9T型研磨機技術規(guī)格書

    一、產(chǎn)品用途

    本機主要用于藍寶石、硅片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

    二、 主要特點

    2.1、高性能變頻器配合三相異步電動機拖動,實現(xiàn)了軟啟動、軟停止、調(diào)速平穩(wěn)、 沖擊??;

    2.2、采用雙電機同步拖動,中心齒輪的變速(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))范圍廣,工藝調(diào)整方便;

    2.3、該設備采用可編程控制器(PLC)控制,PT人機界面顯示設備各項運行參數(shù),壓力采用電-氣比例閥閉環(huán)控制,壓力控制精確穩(wěn)定; 

    2.4、該機可由用戶設定存貯多套不同的工藝,每套工藝可以設定二十步參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調(diào)用,。

    2.5、該機具有研磨盤自動稱重功能,以此配合研磨壓力設定,可自動消除由于研磨盤磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象,從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)(所設壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量)的研磨效率長久不變。

    2.6關鍵外購元件采用進口配套,保證了設備的使用可靠性要求。

    三、 設備基本參數(shù)

    3.1、 研磨盤規(guī)格(外徑×內(nèi)徑×厚度): φ914mm×φ534mm×50mm

    3.2、 游星輪規(guī)格

    公制:  M=2    Z=114  α=20°

    英制:DP12    Z=108  α=20°      

    3.3、 最小研磨厚度:     0.15mm

    3.4、 最多安裝游輪數(shù)量:9個

    3.5、 加工能力:        36片 /φ75mm,72片/φ50mm

    3.6、 最大研磨直徑:    φ180mm

    3.7、 下盤轉(zhuǎn)速:        0-60rpm

    3.8、 主電機:      7.5kW   AC380V    1460rpm

    3.9、 太陽輪電機:  1.5 kW  AC380V    1400rpm 

    3.10、 外型尺寸:1290mm×1600mm×2850mm

    3.11、 重量:約3000kg

    四、 基本配置

    4.1、氣動元件                                SMC

    4.2、減速器                           國產(chǎn)

    4.3、軸承                                 國產(chǎn)

    4.4、可編程控制器〔PLC〕                        OMRON  

    4.5、可編程人機界面PT                          OMRON

    4.6、拉力傳感器                             國產(chǎn)

    4.7、變頻器                              施耐德

    4.8、低壓電器       213、魏德米勒等

    4.9、 旋鈕開關、電器開關                213、和泉等

    4.10電機                                        國產(chǎn)

    五、主機精度

    5.1、下研磨盤端面跳動≤ 0.06mm

    5.2、上、下研磨盤平面度≤0.02mm

    六、設備的安裝

       設備應安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        a 溫度10℃-25℃

        b 相對濕度≦95%

    c 電源電壓AC 380V ,50Hz

    d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(干燥的清潔空氣)

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