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    X61 D13B2M-9T型雙面研磨機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號(hào):

    13.9B雙面研磨機(jī)

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號(hào):13.9B雙面研磨機(jī)

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機(jī)

     X61 D13B2M-9T型研磨機(jī)技術(shù)規(guī)格書(shū)

    一、產(chǎn)品用途

    本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

    二、 主要特點(diǎn)

    2.1、高性能變頻器配合三相異步電動(dòng)機(jī)拖動(dòng),實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)、軟停止、調(diào)速平穩(wěn)、 沖擊小;

    2.2、采用雙電機(jī)同步拖動(dòng),中心齒輪的變速(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))范圍廣,工藝調(diào)整方便;

    2.3、該設(shè)備采用可編程控制器(PLC)控制,PT人機(jī)界面顯示設(shè)備各項(xiàng)運(yùn)行參數(shù),壓力采用電-氣比例閥閉環(huán)控制,壓力控制精確穩(wěn)定; 

    2.4、該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝,每套工藝可以設(shè)定二十步參數(shù)(壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等),以供操作工調(diào)用,。

    2.5、該機(jī)具有研磨盤(pán)自動(dòng)稱重功能,以此配合研磨壓力設(shè)定,可自動(dòng)消除由于研磨盤(pán)磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象,從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)(所設(shè)壓力、時(shí)間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量)的研磨效率長(zhǎng)久不變。

    2.6關(guān)鍵外購(gòu)元件采用進(jìn)口配套,保證了設(shè)備的使用可靠性要求。

    三、 設(shè)備基本參數(shù)

    3.1、 研磨盤(pán)規(guī)格(外徑×內(nèi)徑×厚度): φ914mm×φ534mm×50mm

    3.2、 游星輪規(guī)格

    公制:  M=2    Z=114  α=20°

    英制:DP12    Z=108  α=20°      

    3.3、 最小研磨厚度:     0.15mm

    3.4、 最多安裝游輪數(shù)量:9個(gè)

    3.5、 加工能力:        36片 /φ75mm,72片/φ50mm

    3.6、 最大研磨直徑:    φ180mm

    3.7、 下盤(pán)轉(zhuǎn)速:        0-60rpm

    3.8、 主電機(jī):      7.5kW   AC380V    1460rpm

    3.9、 太陽(yáng)輪電機(jī):  1.5 kW  AC380V    1400rpm 

    3.10、 外型尺寸:1290mm×1600mm×2850mm

    3.11、 重量:約3000kg

    四、 基本配置

    4.1、氣動(dòng)元件                                SMC

    4.2、減速器                           國(guó)產(chǎn)

    4.3、軸承                                 國(guó)產(chǎn)

    4.4、可編程控制器〔PLC〕                        OMRON  

    4.5、可編程人機(jī)界面PT                          OMRON

    4.6、拉力傳感器                             國(guó)產(chǎn)

    4.7、變頻器                              施耐德

    4.8、低壓電器       213、魏德米勒等

    4.9、 旋鈕開(kāi)關(guān)、電器開(kāi)關(guān)                213、和泉等

    4.10電機(jī)                                        國(guó)產(chǎn)

    五、主機(jī)精度

    5.1、下研磨盤(pán)端面跳動(dòng)≤ 0.06mm

    5.2、上、下研磨盤(pán)平面度≤0.02mm

    六、設(shè)備的安裝

       設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

        a 溫度10℃-25℃

        b 相對(duì)濕度≦95%

    c 電源電壓AC 380V ,50Hz

    d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(干燥的清潔空氣)

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