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一、產(chǎn)品用途
本機主要用于藍寶石、硅片、光學玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。
二、 主要特點
2.1、高性能變頻器配合三相異步電動機拖動,實現(xiàn)了軟啟動、軟停止、調(diào)速平穩(wěn)、 沖擊??;
2.2、采用雙電機同步拖動,中心齒輪的變速(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))范圍廣,工藝調(diào)整方便;
2.3、該設備采用可編程控制器(PLC)控制,PT人機界面顯示設備各項運行參數(shù),壓力采用電-氣比例閥閉環(huán)控制,壓力控制精確穩(wěn)定;
2.4、該機可由用戶設定存貯多套不同的工藝,每套工藝可以設定二十步參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調(diào)用,。
2.5、該機具有研磨盤自動稱重功能,以此配合研磨壓力設定,可自動消除由于研磨盤磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象,從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)(所設壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量)的研磨效率長久不變。
2.6關鍵外購元件采用進口配套,保證了設備的使用可靠性要求。
三、 設備基本參數(shù)
3.1、 研磨盤規(guī)格(外徑×內(nèi)徑×厚度): φ914mm×φ534mm×50mm
3.2、 游星輪規(guī)格
公制: M=2 Z=114 α=20°
英制:DP12 Z=108 α=20°
3.3、 最小研磨厚度: 0.15mm
3.4、 最多安裝游輪數(shù)量:9個
3.5、 加工能力: 36片 /φ75mm,72片/φ50mm
3.6、 最大研磨直徑: φ180mm
3.7、 下盤轉(zhuǎn)速: 0-60rpm
3.8、 主電機: 7.5kW AC380V 1460rpm
3.9、 太陽輪電機: 1.5 kW AC380V 1400rpm
3.10、 外型尺寸:1290mm×1600mm×2850mm
3.11、 重量:約3000kg
四、 基本配置
4.1、氣動元件 SMC
4.2、減速器 國產(chǎn)
4.3、軸承 國產(chǎn)
4.4、可編程控制器〔PLC〕 OMRON
4.5、可編程人機界面PT OMRON
4.6、拉力傳感器 國產(chǎn)
4.7、變頻器 施耐德
4.8、低壓電器 213、魏德米勒等
4.9、 旋鈕開關、電器開關 213、和泉等
4.10電機 國產(chǎn)
五、主機精度
5.1、下研磨盤端面跳動≤ 0.06mm
5.2、上、下研磨盤平面度≤0.02mm
六、設備的安裝
設備應安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。
a 溫度10℃-25℃
b 相對濕度≦95%
c 電源電壓AC 380V ,50Hz
d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(干燥的清潔空氣)
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