一、產(chǎn)品用途

本機(jī)主要用于藍(lán)寶石、硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨，也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

二、 主要特點(diǎn)

2.1、高性能變頻器配合三相異步電動(dòng)機(jī)拖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)、軟停止、調(diào)速平穩(wěn)、 沖擊小；

2.2、采用雙電機(jī)同步拖動(dòng)，中心齒輪的變速（即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn)）范圍廣，工藝調(diào)整方便；

2.3、該設(shè)備采用可編程控制器(PLC)控制,PT人機(jī)界面顯示設(shè)備各項(xiàng)運(yùn)行參數(shù)，壓力采用電-氣比例閥閉環(huán)控制，壓力控制精確穩(wěn)定； 

2.4、該機(jī)可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝，每套工藝可以設(shè)定二十步參數(shù)（壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等），以供操作工調(diào)用，。

2.5、該機(jī)具有研磨盤(pán)自動(dòng)稱重功能，以此配合研磨壓力設(shè)定，可自動(dòng)消除由于研磨盤(pán)磨損而造成的壓力不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)（所設(shè)壓力、時(shí)間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量）的研磨效率長(zhǎng)久不變。

2.6關(guān)鍵外購(gòu)元件采用進(jìn)口配套，保證了設(shè)備的使用可靠性要求。

三、 設(shè)備基本參數(shù)

3.1、 研磨盤(pán)規(guī)格（外徑×內(nèi)徑×厚度）： φ914mm×φ534mm×50mm

3.2、 游星輪規(guī)格

公制:  M=2    Z=114  α=20°

英制：DP12    Z=108  α=20°      

3.3、 最小研磨厚度：     0.15mm

3.4、 最多安裝游輪數(shù)量：9個(gè)

3.5、 加工能力：        36片 /φ75mm，72片/φ50mm

3.6、 最大研磨直徑：    φ180mm

3.7、 下盤(pán)轉(zhuǎn)速：        0-60rpm

3.8、 主電機(jī)：      7.5kW   AC380V    1460rpm

3.9、 太陽(yáng)輪電機(jī)：  1.5 kW  AC380V    1400rpm 

3.10、 外型尺寸：1290mm×1600mm×2850mm

3.11、 重量：約3000kg

四、 基本配置

4.1、氣動(dòng)元件        　　　                     SMC

4.2、減速器　　　　　　　　　　                 國(guó)產(chǎn)

4.3、軸承      　　　　　　                     國(guó)產(chǎn)

4.4、可編程控制器〔PLC〕                        OMRON  

4.5、可編程人機(jī)界面PT　                         OMRON

4.6、拉力傳感器              　　　　           國(guó)產(chǎn)

4.7、變頻器　　　　　　　                       施耐德

4.8、低壓電器       213、魏德米勒等

4.9、 旋鈕開(kāi)關(guān)、電器開(kāi)關(guān)                213、和泉等

4.10電機(jī)                                        國(guó)產(chǎn)

五、主機(jī)精度

5.1、下研磨盤(pán)端面跳動(dòng)≤ 0.06mm

5.2、上、下研磨盤(pán)平面度≤0.02mm

六、設(shè)備的安裝

   設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

    a 溫度10℃-25℃

    b 相對(duì)濕度≦95%

c 電源電壓AC 380V ，50Hz

d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa（干燥的清潔空氣）