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    X61 D13B3M-6T型雙面研磨機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    13B雙面研磨機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:13B雙面研磨機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

     X61 D13B3M-6T型研磨機技術(shù)規(guī)格書

    一、 用途和特點

    1.1、本機主要用于藍寶石、彩色濾光片、硅片、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨。

    1.2、采用電氣比例減壓閥電控調(diào)節(jié)正壓(輸出壓力因輸入電壓的變化而平滑地改變),選用荷重傳感器時時檢測工件受力,并將信號反饋給控制單元構(gòu)成壓力的閉環(huán)控制,壓力控制精確。

    1.3、該機可由用戶設(shè)定存貯多套不同的工藝參數(shù)(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等),以供操作工調(diào)用。

    1. 4該機具有研磨盤自動稱重功能,以此配合研磨壓力設(shè)定,從而保證了同樣研磨工藝參數(shù)(所設(shè)壓力、時間、速度以及研磨液粒度、濃度、流量)的研磨效率長久不變.

    1.5該機具有浮動啟動功能,即在緩降時啟動主機,滿足某些工件要求上盤動態(tài)接觸的研磨工藝方案;若不需要此功能,將浮動啟動時間設(shè)定為零,緩降到位后再啟動即可。

    1.6該機的太陽輪既可正轉(zhuǎn)運行,也可反轉(zhuǎn)運行(相對于齒圈和下研磨盤, 人機界面首屏上選定)。

    二、主要技術(shù)參數(shù)

    2.1、 研磨盤尺寸(外徑×內(nèi)徑×厚度):Φ914mm×Φ368mm×45mm

    2.2、游星輪規(guī)格:        Z=147  DP12  α=20°

    2.3、游星輪數(shù)量:        6個

    2.4、加工能力 :         108片/φ50mm,30片/φ100mm,18片/φ125mm

    2.5、最小加工厚度:      0.20mm

    2.6、下盤轉(zhuǎn)速:          0~40rpm

    2.7、太陽輪轉(zhuǎn)速:        0~20rpm

    2.8、內(nèi)齒圈轉(zhuǎn)速:        0~15rpm

    2.9、主電機:            7.5kW    1460rpm

    2.10、太陽輪電機:        1.5kW    1400rpm

    2.11、齒圈電機:           1.5kW    1400rpm

    2.12、設(shè)備外形尺寸:      1600mm×1200mm×2850mm

    2.13、設(shè)備質(zhì)量:          約3000kg

    三、設(shè)備的安裝及使用條件

    3.1、 設(shè)備箱體上裝有四個起吊柱,專門用于設(shè)備搬運時吊裝,設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        設(shè)備安裝的條件為:

          a、溫度10℃-25℃

          b、相對濕度≤95%

          c、電源電壓AC380V±38V(三相五線制)

          d、壓縮空氣源 0.5-0.6MPa(干燥的清潔空氣)

    3.2、設(shè)備可直接放在地板上,調(diào)整六個地腳螺栓可校正設(shè)備的水平,校正時,用水平儀在下研盤上檢測(即在相互垂直的兩個方向上檢測、校正),其水平應(yīng)調(diào)至0.06/1000mm。

    四、整機精度指標(biāo)

    4.1、上下研磨盤平面度:≤0.02mm

    4.2、 下研磨盤端面跳動允差:≤0.06mm

    五、基本配置

    5.1、氣動元件                                SMC

    5.2、減速器                           國產(chǎn)

    5.3、軸承                                 國產(chǎn)

    5.4、可編程控制器(PLC)                        OMRON  

    5.5、可編程人機界面PT                          OMRON

    5.6、拉力傳感器                             國產(chǎn)

    5.7、變頻器                              施耐德

    5.8、 低壓電器       213、魏德米勒等

    5.9、 旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)                213、和泉等

    5.10、電機                                      國產(chǎn)

     

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    提問:
     

    請問一下這個規(guī)律多高???加工量能定制嗎?要哪些參數(shù)?

    wole  2017-07-28

     您好,有技術(shù)問題請咨詢18662293812李先生

    2017-08-04

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