HXMF02系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，采用了毛細(xì)管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理，即流動中的流體與熱源之間熱量交換關(guān)系，來測量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān)，因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。

HXMF02系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品，采用了緊湊型設(shè)計，體積小巧精致，產(chǎn)品堅固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護(hù)，具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長等特點。

    在數(shù)據(jù)傳輸上，不但具備傳統(tǒng)的有線式，還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù)，互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺等強(qiáng)大功能。可有效地滿足各種客戶的不同工況需求，廣泛應(yīng)用于諸多工業(yè)和科研領(lǐng)域。

 產(chǎn)品特色：：

● 快速響應(yīng)

● 超高性價比

● 測量精確，出色的長期穩(wěn)定性

● 可測量腐蝕性氣體，堅固耐用

● 精巧的外觀設(shè)計，全面的安全保護(hù)電路及EMI

● 可配專用顯示表，顯示瞬時流量

● 諸多選項：高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸
 
       ● 遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺、短信報警、郵件報警等

典型應(yīng)用：：

 · 光伏及晶體制備   · 真空行業(yè)及鍍膜   · 泄漏檢測

· 爐窯及微反應(yīng)裝置   · 半導(dǎo)體行業(yè)   · 大學(xué)/研究所

· 分析儀器   · 氣體混合配比   · 計量及計價

· 燃料電池   · 燃燒測試   · 其它氣體測控場合

性能指標(biāo)：：

介質(zhì)要求：與介質(zhì)兼容的氣體，支持腐蝕性氣體

介質(zhì)種類：客戶指定，也可現(xiàn)場更改-需咨詢我們

標(biāo)定工況：0℃ @ 1 atm（氮氣）

測控量程：從0～5sccm到0～30slm任選

量程比：50:1

精度：±1.5%滿量程（>15L為2%） 高精選項：±1%滿量程、±1%讀數(shù)

重復(fù)性：±0.2%滿量程

流量分辨率：0.1%滿量程

響應(yīng)時間：2S

閥門狀態(tài)：常閉（僅控制器，流量計無閥門）

工作溫度：5～45℃

工作濕度：0～100%RH（無冷凝）

工作壓差范圍：流量計 0.02MPa～3MPa

             控制器 0.1～0.5MPa（>10SLM為0.1～0.3MPa）

最大耐壓：3MPa，可選高壓選項10MPa

輸入輸出信號：標(biāo)準(zhǔn)為0～5V

             可選4～20mA、1～5V、Modbus、RS485

輸入輸出電氣參數(shù)：輸入阻抗＞100kΩ，輸出電流＜3mA

供電電壓：+15VDC@50mA  -15VDC@200mA

電氣接口：DB 15pin

泄漏率：≤1×10-9次方Pa·立方米 /S（He）

接液材質(zhì)：316L SS

密封材料：根據(jù)氣體種類由廠家選擇或客戶指定，包括：PTFE、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等

管道接頭：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8雙卡套，3、6、8、10mm雙卡套

外形尺寸：長×寬×高：127×30×100mm

產(chǎn)品重量：流量計0.72kg

         控制器0.88kg

訂購信息：：

· 流量計或控制器   · 氣體種類   · 流量范圍  

· 工作溫度         · 入口壓力   · 出口壓力

· 管道連接尺寸和類型        · 輸入/輸出信號

· 安裝姿勢   · 選項及其它特殊要求：請咨詢我們