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    包郵 關(guān)注:747

    URE-2000/35型紫外光刻機(jī)-單面

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    國產(chǎn)-中科院

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：國產(chǎn)-中科院

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

     

    URE-2000/35型紫外光刻機(jī)-單面 
    URE-2000-35 型紫外光刻機(jī)-單面


    主要技術(shù)指標(biāo)：

    曝光面積：100mm×100mm

    分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

    對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm

    最大膠厚：300μm（SU8膠）

    掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

    樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；

    照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）

    汞燈功率：350W（直流）

    掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°



    技術(shù)特點(diǎn)：

    創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。

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