手動(dòng)槽式清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱 多晶料清洗臺(tái)
主要用途 主要用于多晶材料的清洗
控制模式 手動(dòng)控制
主體尺寸 1180mm(L)*1180mm(W)*1825mm(H)
機(jī)臺(tái)封面 選用進(jìn)口PP板材
槽體尺寸 350mm(L)*300mm(W)*30omm(H)
槽體材質(zhì) NPP板材
槽體數(shù)量 三槽(酸槽+水槽/快排槽+超聲槽)
主要功能 酸槽藥液人工配比,手動(dòng)排放
自動(dòng)槽式清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)
設(shè)備名稱 全自動(dòng)清洗機(jī)
主要用途 主要是對(duì)處理后的半導(dǎo)體材料的清洗
控制模式 手動(dòng)/自動(dòng)控制模式
主體規(guī)格 2800mm(L)*1000mm(W)*1900mm(H)
主要功能 采用進(jìn)口PP材質(zhì)(厚度≥10mm)或SUS板材(厚度≥2mm)
槽體設(shè)計(jì)模塊化,滿足客戶多種需求
層流凈化系統(tǒng),內(nèi)部潔凈度優(yōu)化
沖洗槽電阻率實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
藥液溫度控制
選配功能 全新自動(dòng)熱風(fēng)循環(huán)烘干系統(tǒng)
自動(dòng)配/補(bǔ)液控制系統(tǒng)
控制方式 PLC控制,配合人機(jī)界面操作
工藝運(yùn)行狀態(tài)/放據(jù),實(shí)時(shí)監(jiān)控
機(jī)械臂 機(jī)械臂自動(dòng)運(yùn)行,提放藍(lán)(左進(jìn)右出或右進(jìn)左出)
機(jī)械臂垂直升降速度:≥600mm/s
機(jī)械臂水平移動(dòng)速度:≥700mm/s