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    GWS-晶圓外延缺陷檢測系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備

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    1

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    全國

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    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備

     GWS-晶圓外延缺陷檢測系統(tǒng)

    從操作員的目視檢查到檢測設(shè)備的自動化

     

    1） 超越目視檢查水平的檢測性能

    2） 缺陷位置的可視化以及缺陷圖像可存儲化

    3） 可對應(yīng)OHT 和 MES 

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