本機適用于2“-8”硅片清洗,整機均采用純天然聚丙烯(NPP德國進口)材質(zhì)焊接而成,本體前方安裝有防護隔離門,隔離門采用進口透明PVC板制成,前門可以輕松開閉和高度任意限定,在清洗過程中,隔離門關(guān)閉,以盡量改善工作環(huán)境并減小對人體的傷害.其內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成:加熱槽(均采用PVDF材料)、QDR快排沖洗槽、沖洗水槍(PFA)、氣槍(PFA)、電氣控制、廢液排放及排風(fēng)系統(tǒng)等。工藝過程全自動,機械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來控制,美國進口導(dǎo)軌和機械手來滿足工藝時序整機耐酸性能好,操作人性化,運行安全可靠,是半導(dǎo)體生產(chǎn)線理想的硅片清洗設(shè)備。