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    包郵 關(guān)注:285

    熱絲CVD金剛石設(shè)備 高精度薄膜 性價比高

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-其他

    產(chǎn)品品牌

    鵬城半導(dǎo)體

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:鵬城半導(dǎo)體

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-其他

    鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司(簡稱:鵬城半導(dǎo)體)研發(fā)設(shè)計制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備,分為實驗型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。

    設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。

    可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領(lǐng)域污水處理用的耐*腐*蝕*金剛石導(dǎo)電電極。

    可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。

     

    平面工作尺寸

    圓形平面工作的尺寸:φ650mm。

    矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定(如:工件長度1200mm)。

    配置冷水樣品臺。

     

    熱絲電源功率

    可達300KW,1KW ~300KW可調(diào)(可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍)

     

    設(shè)備安全性

    -電力系統(tǒng)的檢測與保護

    -設(shè)置真空檢測與報警保護功能

    -冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報警保護

    -設(shè)置水壓檢測與報警保護裝置

    -設(shè)置水流檢測報警裝置



     

    設(shè)備構(gòu)成

    真空室構(gòu)成

    雙層水冷結(jié)構(gòu),立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開門,真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。

     

    熱絲

    熱絲材料:鉭絲、或鎢絲

    熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調(diào)

     

    樣品臺

    可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降 ,由調(diào)速電機控制,可實現(xiàn)自動升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)),要求升降平穩(wěn),上下波動不大于0.1mm。

     

    工作氣路(CVD)

    工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置:

    下面氣體配置是某一用戶的配置案例。

    H2(5000sccm,濃度*100*%)

    CH4(200sccm,濃度*100*%)

    B2H6(50sccm,H2濃度99*%)

    Ar(1000sccm,濃度100%)

    真空獲得及測量系統(tǒng)

    控制系統(tǒng)及軟件

     

    實驗型 熱絲CVD金剛石設(shè)備

    單面熱絲CVD金剛石設(shè)備

     

    雙面熱絲CVD金剛石設(shè)備

     

    生產(chǎn)型熱絲CVD金剛石設(shè)備

     

    可制備金剛石面積-寬650*1200mm

    可制備金剛石φ 650mm

    關(guān)于我們

    鵬城半導(dǎo)體技術(shù)(深圳)有限公司,由哈爾濱工業(yè)大學(深圳)與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)沿與市場沿的交叉點,尋求創(chuàng)新與可持續(xù)發(fā)展,解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題,爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

    公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與精密制造,具體應(yīng)用域包括半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體裝備的研發(fā)設(shè)計和生產(chǎn)制造。

    公司人才團隊知識結(jié)構(gòu)完整,有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊;還有來自工業(yè)界的高裝備設(shè)計師團隊,他們具有20多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。

    公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(深圳),具備先/進的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺,可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市,具備半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導(dǎo)體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。


     

    公司已投放市場的部分半導(dǎo)體設(shè)備

    |物理氣相沉積(PVD)系列

    磁控濺射、電子束、熱蒸發(fā)鍍膜機,激光沉積設(shè)備PLD

    |化學氣相沉積(CVD)系列

    MOCVD、PECVD、LPCVD、微波等離子體CVD、熱絲CVD、原子層沉積設(shè)備ALD

    |超高真空系列

    分子束外延系統(tǒng)(MBE)、激光分子束外延系統(tǒng)(LMBE)

    |成套設(shè)備

    團簇式太陽能薄膜電池中試線、OLED中試設(shè)備(G1、G2.5)

    |其他

    金剛石薄膜制備設(shè)備、合金退火爐、硬質(zhì)涂層設(shè)備、磁性薄膜設(shè)備、電制備設(shè)備

    |真空鍍膜機用電源/真空鍍膜機控制系統(tǒng)及軟件

    直流濺射電源、RF射頻濺射電源、高精度熱蒸發(fā)電源、高能直流脈沖電源(中頻可調(diào)脈寬)

    控制系統(tǒng)及軟件

    團隊部分業(yè)績分布
    自主設(shè)計制造的分子束外延(MBE)設(shè)備,包括自主設(shè)計制造的MBE超高真空外延生長室、工藝控制系統(tǒng)與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實時在線監(jiān)控儀(反射高能電子衍射儀)、直線型電子槍、膜厚儀(可計量外延生長的分子層數(shù))、射頻源等關(guān)鍵部件。真空度達到8.0×10^-9Pa。

    設(shè)備于2005年在浙江大學光學儀器國家重點實驗室投入使用,至仍在正常使用。

    設(shè)計制造磁控濺射與等離子體增強化學氣相沉積法PECVD技術(shù)聯(lián)合系統(tǒng),應(yīng)用于團簇式太陽能薄膜電池中試線。使用單位中科院電工所。

    設(shè)計制造了金剛石薄膜制備設(shè)備,應(yīng)用于金剛石薄膜材料的研究與中試生產(chǎn)設(shè)備?,F(xiàn)使用單位中科院金屬研究所。

    設(shè)計制造了全自動磁控濺射設(shè)備,可加水平磁場和垂直磁場,自行設(shè)計的真空機械手傳遞基片。應(yīng)用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試。現(xiàn)使用單位國家光電實驗室。

    設(shè)計制造了OLED有機半導(dǎo)體發(fā)光材料及器件的研究和中試成套裝備。現(xiàn)使用單位香港城市大學先/進/材料實驗室。

    設(shè)計制造了MOCVD及合金退火爐,用于GaN和ZnO的外延生長,實現(xiàn)LED無機半導(dǎo)體發(fā)光材料與器件的研究和中試?,F(xiàn)使用單位南昌大學國家硅基LED工程技術(shù)研究中心。

    設(shè)計制造了磁控濺射研究型設(shè)備?,F(xiàn)使用單位浙江大學半導(dǎo)體所。

    設(shè)計制造了電子束蒸發(fā)儀研究型設(shè)備。現(xiàn)使用單位武漢理工大學。

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