X61 D16S-W型研磨機(jī)技術(shù)規(guī)格書

一、產(chǎn)品用途

本設(shè)備主要用于光學(xué)玻璃、陶瓷，硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片等電子材料及其他硬脆材料的雙面高精度研磨加工，適用于5〃（φ125mm）以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密研磨加工。

二、主要特點(diǎn)

2.1、整機(jī)采用龍門結(jié)構(gòu)，主體采用箱形結(jié)構(gòu)，整體剛性好。

2.2、采用四動(dòng)作研磨機(jī)理，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件非強(qiáng)制性的約束方式，因此在研磨過程中零件不易破損。

2.3、加壓系統(tǒng)分成輕壓、 中壓、重壓和修正（輕壓）四個(gè)階段，廣泛適用于各行業(yè)用戶的加工需求。

2.4、本機(jī)采用下盤升降方式，升降極限位置可調(diào)，滿足了取放片及游輪嚙合位置改變的要求。

2.5、采用三相交流異步電機(jī)，變頻調(diào)速，起動(dòng)及停車平穩(wěn)，無沖擊。

2.6、設(shè)備采用程序控制，設(shè)定好時(shí)間、壓力段，屆時(shí)自動(dòng)停車。因此，一人可同時(shí)操作多臺(tái)機(jī)器。

2.7、本設(shè)備電氣通過PLC控制，四行文本顯示器顯示。

2.8、采用全齒輪傳動(dòng)方式，傳動(dòng)平穩(wěn)，可靠性高。

三、主要技術(shù)參數(shù)

3.1、研磨盤尺寸：φ1118mm×φ386mm×50mm

3.2、游星片參數(shù)：英制：齒數(shù)Z=200  模數(shù)DP12  α=20°

3.3、游星片數(shù)量：5片

3.4、修正輪數(shù)量：4片

3.5、研磨直徑及片數(shù)：φ75/85片、φ100/40片、φ125/25片、φ150/20片；

3.6、下研磨盤轉(zhuǎn)速：0～60rpm

3.7、整機(jī)功率：

主電機(jī)：11kW、AC380V、1460rpm、50Hz

攪拌泵：90W

加液泵：1/4HP 70L/min。

3.8、設(shè)備外形尺寸（長×寬×高）：2000mm×1400mm×2670mm

3.9、設(shè)備質(zhì)量：約5500Kg

四、基本配置

4.1、氣缸:                           嘉貿(mào)  

4.2、精密減壓閥：                    SMC

4.3、電磁閥                          MAC

4.4、減速箱:                         國產(chǎn)

4.5、PLC及文本:                     臺(tái)達(dá)

4.6、變頻器:                         施耐德

4.7、軸承:                           國產(chǎn)

五、 精度指標(biāo)

5.1、下拋盤端面跳動(dòng)0.08mm；

5.2、上、下研磨盤平面度0.030mm。

六、設(shè)備的安裝

   設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦、安裝厚度應(yīng)大于300mm，遠(yuǎn)離振動(dòng)源、無灰塵煙霧污染的場所。

    a 溫度10℃-25℃

    b 相對(duì)濕度≦95%

c 電源電壓AC380V ，50Hz

d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa（必須為干燥的清潔空氣）