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    X61 D22B4M-T-1型雙面研磨機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號:

    22B雙面研磨機

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號:22B雙面研磨機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機

     新技術(shù)原理 新設(shè)計構(gòu)思研制  模塊化組合 易于實現(xiàn)自動化生產(chǎn)

     X61 D22B4M-T-1研磨技術(shù)規(guī)格書

    產(chǎn)品簡介:本機我公司新一代研磨機,主要用于硅片、寶石、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。

    主要特點

    2.1采用四電機同步拖動,變速范圍更廣,能適應(yīng)不同拋光材料及拋光工藝的要求;可實現(xiàn)快速修盤功能,提高生產(chǎn)效率。

    2.2 加載壓力更大,滿足大壓力加工工藝需求,最大壓力可達2000kg。

    2.3太陽輪與內(nèi)齒圈同步抬升,滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。

    2.4上下研磨盤采用斜齒輪傳動,并且整機采用全齒輪傳動,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

    2.5采用工控機控制,人機界面顯示運轉(zhuǎn)狀態(tài)及參數(shù)設(shè)置,壓力采用電-氣比例閥與壓力傳感器閉環(huán)反饋控制,壓力轉(zhuǎn)換過程實現(xiàn)了線性控制。用戶可根據(jù)研磨工藝進行設(shè)置,壓力控制精度高,相應(yīng)速度快。

    2.6變頻器配合異步電機拖動,實現(xiàn)了軟啟動,軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。

    2.7應(yīng)用人機界面(PT)與工控機通訊,一方面顯示運行參數(shù),另一方面通過其觸摸鍵調(diào)整、設(shè)定各項工藝參數(shù),主操作由面板鍵鈕完成。

    2.8采用集中潤滑裝置,各相對運動表面、齒輪嚙合部位、鏈輪都可得到充分潤滑,大大提高了整機的使用壽命。

    2.9該設(shè)備的主要外購件采用進口件,保證了各項性能的高指標。

    2.10本機整體為底板龍門式結(jié)構(gòu),更高支撐剛度和穩(wěn)定性。上研磨盤上升到最高位置后由橫梁上鎖定氣缸通過安全鉤自動鎖定,安全可靠穩(wěn)定。

    2.11 設(shè)備具有兩級液壓抬升機構(gòu)。一級抬升用于齒圈太陽輪升降,行程約35mm;二級抬升用于設(shè)備檢修,下盤主體整體抬升,最大行程280mm。

    2.12 游輪采用銷齒傳動,提高了嚙合強度和接觸剛度,同時降低了齒圈太陽輪的維護難度和維護成本;

    2.13上盤采用最新的“浮動”連接裝置,調(diào)心靈活,解決了錯盤問題。

    主要技術(shù)參數(shù):

    研磨盤尺寸

    φ1465mm×φ492mm×60mm

    齒圈參數(shù)

    Z=264     PCD=φ1532.6     (銷齒)

    太陽輪參數(shù)

    Z=74      PCD=φ424.2      (銷齒)

    游星輪參數(shù)

    Z=95      PCD=φ550       (銷齒)

    最小研磨厚度

    0.40mm

    加工能力

    85片/φ100mm, 35片/φ150mm

    下盤轉(zhuǎn)速

    0-60rpm

    下盤電機

    22kW    AC380V       1470rpm

    上盤電機

    11kW    AC380V       1460rpm

    太陽輪電機

    4kW     AC380V       1440rpm

    齒圈電機

    7.5kW    AC380V      1440rpm

    三相電泵

    1/4HP     AC380V      70L/min

    外型尺寸

    2870㎜×1830㎜×2880㎜

    重量

    約8500kg

    產(chǎn)品選配表:

    上盤電機

    上盤平衡裝置

    下盤電機

    龍門結(jié)構(gòu)

    太陽輪電機

    全裸結(jié)構(gòu)

    齒圈電機

    充氮

    上下盤水冷

    防結(jié)晶吹氣

    水冷機

    機械手

    液壓軸承

    測厚

         注:●標配  ○可選裝

    使用環(huán)境:

        設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,厚度應(yīng)大于300mm,遠離振動源,無灰塵煙霧污染的場所。

        a 溫度10℃-25℃

        b 相對濕度≦95%

    c 電源電壓AC380V ,50Hz

    d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)

    基本配置:

    氣動元件

    SMC、亞德客等

    主減速器

    椿本

    軸承

    國產(chǎn)

    工控機

    赫瑞特智控

    人機界面

    赫瑞特智控

    拉力傳感器

    國產(chǎn)

    變頻器

    施耐德

    低壓電器

    213、魏德米勒等

    旋鈕開關(guān)、電器開關(guān)

    213、和泉等

    電機

    國產(chǎn)

    整機精度指標

    下盤平面度小于0.04mm;

    下盤端面跳動小于0.08mm;

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