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4001027270
X61S36D-T型研磨機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:本機(jī)是我公司新一代單面研磨機(jī),主要用于φ50-φ150mm藍(lán)寶石、電子材料半導(dǎo)體硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片以及光學(xué)材料等金屬、非金屬硬脆材料的單面研磨加工。
主要特點(diǎn):
2.1主研盤和上研磨頭均設(shè)有強(qiáng)制冷卻(可選配冷水機(jī)),采用紅外測(cè)溫、閉環(huán)控溫;四個(gè)研磨頭采用變頻調(diào)速主動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),研磨頭的壓力用電氣比例閥調(diào)控實(shí)現(xiàn)了多段壓力控制,可大區(qū)段自動(dòng)加壓,最大加壓可達(dá)450g/cm2;
2.2在控制上采用了工控機(jī)控制,靈敏性好,反饋迅速,能滿足客戶不同的工藝需求,控制精確,操作方便,顯示豐富;
2.3電氣控制器件采用國外品牌(OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等),可靠穩(wěn)定;
2.4主傳動(dòng)采用了椿本的環(huán)面包絡(luò)蝸輪蝸桿減速箱,四個(gè)研磨頭采用了臺(tái)灣利明減速電機(jī)驅(qū)動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)壽命長(zhǎng);
2.5主支座支撐處裝有四個(gè)減震器,很好的保證了各種工況下上下盤間的平行度,保證了加工質(zhì)量。
2.6采用磁力攪拌泵攪拌、真空噴砂供液,配有沖洗開關(guān)水槍;
2.7本機(jī)配備高精度數(shù)控車刀修盤裝置,方便了銅盤面形修整,適應(yīng)了藍(lán)寶石加工的工藝要求;
主要技術(shù)參數(shù):
研磨盤尺寸 |
φ868×φ244mm×13mm |
拋頭數(shù)量 |
4個(gè) |
主電機(jī) |
15kW |
拋頭電機(jī) |
0.75kw×4 |
下研磨盤轉(zhuǎn)速 |
0-90rpm(調(diào)頻調(diào)速) |
上研磨頭轉(zhuǎn)速 |
0-90rpm(調(diào)頻調(diào)速) |
加工能力 |
80片/φ50mm,28片/φ100mm |
最小加工厚度 |
0.2mm |
外型尺寸 |
1360mm (W)×2412mm (D)×2799 mm (H) |
重量 |
約4000kg |
產(chǎn)品選配表:
拋頭電機(jī) |
● |
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上下盤水冷 |
● |
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下盤電機(jī) |
● |
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全裸結(jié)構(gòu) |
● |
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水冷機(jī) |
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○ |
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機(jī)械手 |
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○ |
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修盤車刀 |
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○ |
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●標(biāo)配 ○可選裝
使用環(huán)境:
1) 設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。
2) 溫度10℃-25℃
3) 相對(duì)濕度≦95
4) 電源電壓AC 380V ,50Hz
5) 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)
6)冷卻水水壓:2kgf/cm2 以下
水量:15L/min 溫度:7~12℃
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