網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 晶圓減薄拋光設(shè)備 » 研磨機(jī) »X61S36D-T型單面研磨機(jī)
    包郵 關(guān)注:403

    X61S36D-T型單面研磨機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    赫瑞特(蘭州瑞德)

    規(guī)格型號(hào):

    36D單面研磨機(jī)

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:赫瑞特(蘭州瑞德)

    型號(hào):36D單面研磨機(jī)

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-研磨機(jī)

     新技術(shù)原理   新設(shè)計(jì)構(gòu)思研制   模塊化組合   易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)

    X61S36D-T研磨機(jī) 

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:本機(jī)是我公司新一代單面研磨機(jī),主要用于φ50-φ150mm藍(lán)寶石、電子材料半導(dǎo)體硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片以及光學(xué)材料等金屬、非金屬硬脆材料的單面研磨加工。

     

    主要特點(diǎn):

    2.1主研盤和上研磨頭均設(shè)有強(qiáng)制冷卻(可選配冷水機(jī)),采用紅外測(cè)溫、閉環(huán)控溫;四個(gè)研磨頭采用變頻調(diào)速主動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng),研磨頭的壓力用電氣比例閥調(diào)控實(shí)現(xiàn)了多段壓力控制,可大區(qū)段自動(dòng)加壓,最大加壓可達(dá)450g/cm2;

    2.2在控制上采用了工控機(jī)控制,靈敏性好,反饋迅速,能滿足客戶不同的工藝需求,控制精確,操作方便,顯示豐富;

    2.3電氣控制器件采用國外品牌(OMRON 、Raytek、和泉及施耐德等),可靠穩(wěn)定;

    2.4主傳動(dòng)采用了椿本的環(huán)面包絡(luò)蝸輪蝸桿減速箱,四個(gè)研磨頭采用了臺(tái)灣利明減速電機(jī)驅(qū)動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)壽命長(zhǎng);

    2.5主支座支撐處裝有四個(gè)減震器,很好的保證了各種工況下上下盤間的平行度,保證了加工質(zhì)量。

    2.6采用磁力攪拌泵攪拌、真空噴砂供液,配有沖洗開關(guān)水槍;

    2.7本機(jī)配備高精度數(shù)控車刀修盤裝置,方便了銅盤面形修整,適應(yīng)了藍(lán)寶石加工的工藝要求;

     

     

     

    主要技術(shù)參數(shù):

    研磨盤尺寸

    φ868×φ244mm×13mm

    拋頭數(shù)量

    4個(gè)

    主電機(jī)

    15kW

    拋頭電機(jī)

    0.75kw×4

    下研磨盤轉(zhuǎn)速

    0-90rpm(調(diào)頻調(diào)速)

    上研磨頭轉(zhuǎn)速

    0-90rpm(調(diào)頻調(diào)速)

    加工能力

    80片/φ50mm,28片/φ100mm

    最小加工厚度

    0.2mm

    外型尺寸

    1360mm (W)×2412mm (D)×2799 mm (H)

    重量

    約4000kg

    產(chǎn)品選配表:

    拋頭電機(jī)

     

    上下盤水冷

    下盤電機(jī)

     

    全裸結(jié)構(gòu)

    水冷機(jī)

     

     

     

    機(jī)械手

     

     

     

    修盤車刀

     

     

     

     

     

     

     

    ●標(biāo)配  ○可選裝

     

     

     

     

    使用環(huán)境:

    1) 設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

    2) 溫度10℃-25℃

    3) 相對(duì)濕度≦95

    4) 電源電壓AC 380V ,50Hz

    5) 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)

    6)冷卻水水壓:2kgf/cm2 以下

    水量:15L/min  溫度:7~12℃

     

    咨詢

    購買之前,如有問題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)