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4001027270
l 骨架：優(yōu)質不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；
l 外殼：德國進口10mm瓷白PP板熱焊接而成；
l 防護門：正面操作側采用透明上下推拉門；
l 管路：管路位于機臺下后部，以節(jié)省空間，采用英制接口；
l 藥液回收區(qū)位于設備左后下部；
l 設備2#與3#處有活動推拉擋板；
l 排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調節(jié)裝置；
l 工作照明：機臺上方配照明（與工作區(qū)隔離）；
l DI/N2 GUN：可伸縮的N2 Gun和DI水槍各把，置于右側；
l 臺面板為德國10mm PP板（帶有漏液孔）；
l 人機界面：Touch Screen彩色界面；
蘇州華林科納半導體設備技術有限公司(CSE------www.hlcas.com)由中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所合資成立于2008年3月，投資4500萬元。主要從事半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備的研發(fā)、技術推廣和生產銷售。
蘇州華林科納公司通過與國際上知名公司的廣泛合作，目前已形成濕法清洗系統(tǒng) 刻蝕系統(tǒng)CDS系統(tǒng) 尾氣處理系統(tǒng)的四大系列數十種型號的產品，廣泛用于大規(guī)模集成電路、電力電子器件、分立器件、光電子器件、MEMS和太陽能電池等領域，以優(yōu)質的產品和優(yōu)良的服務贏得了各界用戶的贊許和信賴。
蘇州華林科納于2014年11月份設立了分公司“南通華林科納半導體設備有限公司(CSE------www.hlkncse.com)”，經營范圍：半導體清洗設備、太陽能光伏設備組裝、生產、設計、研發(fā)、銷售，以及相關技術推廣，自營和代理上述商品及技術的進出口業(yè)務。
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