QP-301 D型內(nèi)圓切片機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
□切割晶圓尺寸：＜￠100mm
□刀片規(guī)格：φ422mm×φ152mm ×0.15mm
□切割晶棒最大長度：350mm
□切割進(jìn)給速度：1～99mm/min
□切割返回速度：1～999mm/min
□送料進(jìn)給步距偏差：±0.007mm (按1mm當(dāng)量進(jìn)給)
□片厚設(shè)定范圍：0.01～40.00mm
□晶向調(diào)節(jié)
水平方向(X)±7º(分辯率2＇)
垂直方向(Y)±7°(分辯率2＇)
□功耗：2.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
□空氣源：0.4~0.5MPa
□觸摸屏：5.7英寸
□外形尺寸：1100mm×660mm×2230mm
□重量：1100kg
□可選方案：
●￠422mm規(guī)格加深型刀盤配置方案，使片厚設(shè)定范圍最大可達(dá)58.00mm（QP-301T型）。
●￠457mm規(guī)格刀盤配置方案，使切割晶棒最大直徑可達(dá)￠105mm（QP-401型）。
QP-613B型內(nèi)圓切片機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)：
□切割棒最大直徑：: ￠153mm
□刀片規(guī)格：
￠690mm×￠241mm×0.15mm或￠690mm×￠235mm×0.15mm
□切割晶棒最大長度400mm：
□切割進(jìn)給速度0.2～99mm/min：
□切割返回速度：1～1000mm/min
□主軸轉(zhuǎn)速:1420r/min
□送料進(jìn)給步距偏差：±0.005mm(按1mm當(dāng)量進(jìn)給)
□片厚設(shè)定范圍：0.001～68.00mm
□片厚設(shè)定分辨率:0.001mm
□晶向調(diào)節(jié)
水平方向(X)±7º(分辯率2＇)
垂直方向(Y)±7°(分辯率2＇)
□功耗：3.5KW,～380V±38V,50HZ±1HZ
□空氣源：0.4~0.5MPa，250L/min(剎車瞬時(shí))
□冷卻水源:0.2～0.4MPa；5L/min
□觸摸屏：7.7英寸
□外形尺寸：1645mm×925mm×2820mm
□重量：2500kg
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