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    DXQ-602 多線切割機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-切割設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    第四十五研究所

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：第四十五研究所

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-切割設(shè)備

     DXQ-602 多線切割機(jī)主要用于硅片、砷化鎵、鍺、藍(lán)寶石、碳化硅等硬脆材料的切片加工?；诮饎偩€切割，環(huán)保高效，運(yùn)行成本低，可選配料擺動(dòng)切割，具有單向、雙向切割和斷線實(shí)時(shí)檢測(cè)功能。
    主要技術(shù)特點(diǎn)：
    工作臺(tái)單元
    采用較高精度的直線導(dǎo)軌系統(tǒng)和滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，通過(guò)特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證了系統(tǒng)運(yùn)行具有較高的直線度，采用高精度減速裝置，保證低速進(jìn)給的平穩(wěn)性。
    張力控制系統(tǒng)
    采用高精度張力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)切割線張力變化，并由張力調(diào)整裝置實(shí)時(shí)調(diào)整張力大小，張力控制系統(tǒng)可保證切割線張力控制精度為±2N，恒定的張力控制，保證晶片的切割質(zhì)量。
    收放線系統(tǒng)
    采用精密軸承和精密加工保證了線輪軸具有較高的徑向精度和軸向精度。采用西門子電機(jī)驅(qū)動(dòng)及控制單元，保證了收放線輪的同步運(yùn)行，具有很高的實(shí)時(shí)性。
    自動(dòng)排線系統(tǒng)
    采用高精度檢測(cè)傳感器，齒輪齒條和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)和伺服控制系統(tǒng)，保證了線纏繞在收放線輪上的均勻性，橫移架臺(tái)的移動(dòng)速度與線輪收線或放線的同步性，前后運(yùn)動(dòng)的直線性及平穩(wěn)性，可通過(guò)接觸傳感器檢測(cè)，對(duì)切割線移動(dòng)位置進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償，保證了排線的一致性。




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