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KW型勻膠機適用于半導體工藝,制版及表面涂覆等工藝。
勻膠機穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證膠厚度的一致性和均勻性,為此,該機采取了如下措施:
(一) 定子和轉子分開供電。定子用穩(wěn)壓電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比用可控硅調速優(yōu)越得多,轉速在1000-8000轉/分范圍內非常穩(wěn)定。
(二) 勻膠機有兩個轉速。在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉。兩轉速及相應的時間分別可調。
(三) 本勻膠機測速采用光電的方法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,光電盤下面裝有光電開關。當光電盤缺口轉到光電開關上方時,光電開關的接收器沒有信號,當光電盤的反射板(缺口以外的其余部分)轉到光電開關上面時,光電接收器便接收到信號產生一個脈沖,光電盤旋轉一周,光電接受器便接收到三次信號,因而產生三個脈沖。閘門由秒脈沖電路產生,周期為2秒。當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計得的數是n,則每秒鐘應該轉了n/(2×3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)×60=10n轉。故計數器就是每分鐘轉速,只不過差一個數量級。
勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間。在安裝結構上,采取了減震措施,在運轉時噪音很低。
二、 主要性能
1. 特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及其勻膠時間分別連續(xù)調節(jié),在啟動后先低速運轉,經幾秒鐘后自動轉換到高速運轉。
Ⅰ檔轉速:500-2000轉/分
Ⅰ速勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔轉速:1500-8000轉/分
Ⅱ速勻膠時間:3-60秒
2. LED數字顯示,轉速穩(wěn)定度±1%,膠的均勻性±3%。
3. 體積小,重量輕,操作方便。
4. 電機功率:40W。
5. 適用于φ10至φ100mm硅片及其它材料等勻膠。
三、控制件功能說明
1.電源開關:控制220伏電源的通斷。
2.轉速調節(jié)鈕:調節(jié)勻膠轉速。
3.控制:在啟動后,定時時間未到,需立即停止而又不能停止吸片,此時只要抬起該鍵便可停止勻膠。
4.吸片:按下時吸住片托上的片子。為避免操作上的錯誤,“吸片”鍵具有聯鎖功能,不吸片則電機不轉。“吸片”鍵抬起后勻膠也就停止。
5.啟動:啟動電機。必須在“控制”鍵和“吸片”鍵都按下時才能啟動運轉,否則雖按了“啟動”鍵仍不能運轉。
6.勻膠時間:調節(jié)勻膠時間長短,時間分別控制在1-18秒和3秒-1分鐘,其所指刻度與實際時間相近。
7.電源輸入(后):插入220V電源線。
8.保險管座(后):安裝φ5×20-1A保險管。
9.吸片抽氣嘴(后):連接到抽氣泵。氣泵的抽速1升/秒。
四、操作步驟
1.選擇合適的片托,(略小于樣片尺寸)將缺口對準螺釘。片托安裝時一定要到底。
2.開啟電源,按下“控制鍵”。
3.調節(jié)合適的勻膠時間和轉速。轉速Ⅰ為低速,轉速Ⅱ為高速。
4.放片,要注意放正。
5.按下“吸片”鍵開始抽氣。注意在按“吸片”鍵之前,轉速電位器上的指示燈不應亮。
6.按“啟動鍵”,馬達先以低速旋轉,數字穩(wěn)定后為實際轉速,如:1.50即為1500轉/分。
7.滴膠,動作要快些,要在低轉速時間內滴膠完畢,然后勻膠機變?yōu)楦咚賱蚰z。若不知道勻膠機是在低速還是在高速運轉,可以從電位器上面的指示燈來判斷,紅或黃色為低速,綠色為高速。
8.電機停轉后,抬起“吸片”鍵,取下片子。
9.勻膠時間、轉速若不合適可隨時調節(jié)。
10.繼續(xù)勻膠時重復4-8步。
11.勻膠結束后抬起“吸片”鍵、“控制”鍵,關斷電源。
五、注意事項
1.每次開機前要注意將“控制”鍵,“吸片”鍵抬起,開啟電源后分別按下各鍵操作,以避免未啟動時電機即轉動。
2.不同尺寸的片子選用不同尺寸的片托,厚度在1.5mm以下的片子選用帶吸氣槽的片托,厚度大于1.5mm的片子,選用“O”型圈的片托。
3.所甩樣片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右,如果用大片托甩小的樣片就會產生漏氣,同時造成膠被吸入抽氣室。
4.如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立即進行清洗,否則片托、光電盤、電機軸會粘在一起,造成電機轉不動,拆卸亦很困難。
六、清洗
屬下列情況之一時,需要對抽氣室進行清洗:
1. 正常使用三個月的;
2. 膠被吸入抽氣室的;
3. 電機轉速不穩(wěn)定或被卡住轉不動的。
清洗的辦法是依次取下片托,松開光電盤上的緊固頂絲,(參看抽氣室結構圖)取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干凈,再依次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤,旋緊緊固頂絲。在安裝過程中要注意幾點:
1.彈簧片不要卡在電機軸的臺階上,否則,下密封環(huán)壓不下去,抽氣室放不下去,同時,電機軸亦會被卡住。
2.彈簧片的作用是將下密封環(huán)彈起,使其上表面貼緊抽氣室的下表面。
3.下密封環(huán)的上表面和內表面,上密封環(huán)的下表面和內表面均涂一點真空脂或黃油,一是起潤滑作用,二是起密封作用。
4.在安裝上密封環(huán)可將其先套在光電盤上,套進1mm,不要垂直往軸上安裝,這樣密封環(huán)會掉下去??蓪蚰z機某一側面向下使電機軸成水平方向,然后將套上密封環(huán)的光電盤插在電機軸上,這樣可保證密封環(huán)的下表面緊貼抽氣室的上表面。
有時根據情況可只拆下光電盤和上密封環(huán)進行清洗.
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