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    CHINAPONY中普尼智能勻膠機(jī)、智能旋涂?jī)x、程序旋涂?jī)x、高精度旋涂?jī)x

    產(chǎn)品品牌

    CHINAPONY 中普尼

    規(guī)格型號(hào):

    CPN-SC-ISO5560CE型、CPN-SC-ISO5580CE型、

    發(fā)貨期限:

    三個(gè)工作日天

    庫(kù)       存:

    99999

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:CHINAPONY 中普尼

    型號(hào):CPN-SC-ISO5560CE型、CPN-SC-ISO5580CE型、

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-涂膠設(shè)備-半自動(dòng)勻膠機(jī)

     Spin Coater or Spin Processor:勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、勻膜機(jī)、涂膜機(jī)、涂層儀、旋涂?jī)x、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、旋轉(zhuǎn)涂敷儀、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)、光阻旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)等,主要用于液體、膠體在材料表面高均勻度薄膜的形成。CHINAPONYTM  公司研發(fā)的Spin Coater、Spin Processor適用于半導(dǎo)體行業(yè)、微電子領(lǐng)域新型材料【硅片、陶瓷、玻璃、載玻片、晶片、砷化鎵、不銹鋼等材質(zhì)基底材料】的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝,應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用,為微電子、光電子及太陽(yáng)能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一。CHINAPONYTM公司的Spin Coaters、Spin Processors遍布全球著名的高等院校、科研院所和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)中心,為全球范圍內(nèi)使用頻率最高的Spin Coaters、Spin Processors。

    總覽:              

    本系列Spin Coater、Spin Processor突破傳統(tǒng)設(shè)計(jì)理念,將頂尖工業(yè)設(shè)計(jì)與人體工學(xué)曲線完美融合,為高端用戶精心打造的一款集高智能系統(tǒng)與完美外形于一體的尖端機(jī)型。

    1、面對(duì)高端用戶嚴(yán)格苛刻工作需求的高智能旋涂?jī)x。

    2、增強(qiáng)聚丙烯(reinforced polypropylene,簡(jiǎn)稱(chēng)RPP)材質(zhì)構(gòu)造:極佳的物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性--無(wú)毒、無(wú)臭、無(wú)味,耐水蒸汽性、耐化學(xué)腐蝕性和耐蠕變性等更加優(yōu)越性能。

    3、11英寸和14英寸兩種不同規(guī)格內(nèi)徑桶狀處理工作腔體。

    4、三種不同外形形式結(jié)構(gòu):臺(tái)式一體式、分離式、特殊環(huán)境內(nèi)置式;可選擇臺(tái)面式,和用于濕站或者手套箱系統(tǒng)的不同構(gòu)造。

    5、內(nèi)置高精度真空度傳感器。  

    6、可選三種不同工作狀態(tài):真空吸附、盤(pán)式裝片、真空盤(pán)式。 

    7、可編程的雙語(yǔ)程序控制系統(tǒng);轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度精確至±0.1 %,最高轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM。

    8、本系列機(jī)身設(shè)計(jì)可拓展為自動(dòng)滴膠型,即自動(dòng)滴膠-旋涂?jī)x;

    9、面對(duì)實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)格苛刻條件需求,本機(jī)已配備惰性氣體設(shè)計(jì);

    10、面對(duì)相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊(刮邊)功能; 

    優(yōu)勢(shì):                                    

    1、高智能數(shù)碼控制器:

    本機(jī)搭載高效穩(wěn)健的高智能程序控制系統(tǒng),具有卓越的操作性能,可隨心調(diào)控并完美實(shí)現(xiàn)均勻調(diào)速與時(shí)間。觸摸式調(diào)控程序,設(shè)置可達(dá)26種不同規(guī)格尺寸Wafer的工作程序, 每段工作程序又可以設(shè)置多達(dá)51步不同的旋轉(zhuǎn)涂敷速度狀態(tài),包括加速度和負(fù)加速度;轉(zhuǎn)速性能更高,最高轉(zhuǎn)速可達(dá)10000 RPM,精度更加精確,其穩(wěn)定度為±0.1 %,為行業(yè)最苛刻最高標(biāo)準(zhǔn);時(shí)間調(diào)整以秒為精度,旋涂時(shí)間最長(zhǎng)可達(dá)9999秒,制膜工作過(guò)程控制更加精確。

        智能操作系統(tǒng)內(nèi)置有人性化的旋涂固定操作程序,用戶可隨時(shí)調(diào)出使用修改,并可設(shè)置儲(chǔ)存為用戶經(jīng)常使用程序,極大的提高工作效率。

        數(shù)碼顯示屏實(shí)時(shí)顯示旋涂工作過(guò)程,工作狀態(tài)等情況一目了然。

    采用經(jīng)調(diào)校后的低噪大轉(zhuǎn)速伺服電機(jī),運(yùn)轉(zhuǎn)更平穩(wěn)、速度更快,摩擦更小、離心力更大,涂敷光刻膠等膠液更均勻。

     

    2、全球獨(dú)創(chuàng)的“真空吸附、盤(pán)式裝片與真空盤(pán)式”三種不同工作狀態(tài)完美結(jié)合卻又完全細(xì)分.

    (1)真空吸附

    真空吸附工作狀態(tài):配置高性能無(wú)油真空幫浦系統(tǒng)。由于內(nèi)置高靈敏真空度傳感器,智能程序控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)旋涂工藝過(guò)程真空度,使吸附中的Wafer更加堅(jiān)固、最大可能避免了甩片導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)失敗的現(xiàn)象;本機(jī)在啟動(dòng)時(shí),若操作系統(tǒng)真空度未達(dá)所需標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài),智能控制系統(tǒng)具有自動(dòng)停機(jī)保護(hù)性能,避免Wafer的破損和膠液的浪費(fèi)。

    (2)盤(pán)式裝片

    盤(pán)式裝片工作狀態(tài):無(wú)需高性能真空幫浦系統(tǒng)即可工作。不僅方便小巧輕薄的基底材料同時(shí)亦非常適合大面積和笨重厚重的基底材料涂敷工作,并且完全涂敷基底材料所有表面,非常方便特殊基底材料涂敷。

    (3)真空盤(pán)式

    真空盤(pán)式工作狀態(tài):將真空吸附和盤(pán)式裝片工作狀態(tài)結(jié)合,即同時(shí)配置高性能真空幫浦系統(tǒng)與特殊真空裝片盤(pán)工作,同時(shí)擁有真空吸附和盤(pán)式機(jī)構(gòu)的優(yōu)勢(shì),使工作中的Wafer更加安全可靠。

     

    小巧、輕薄、大面積、厚重或笨重的基底材料:一次性提供最完美的全方位解決涂敷工作方案!

    3、高性能伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速更高、精度更精確.

    4、機(jī)身設(shè)計(jì)可拓展為自動(dòng)滴膠型,即自動(dòng)滴膠-旋涂?jī)x;

    5、面對(duì)實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)格苛刻條件需求,本機(jī)配備惰性氣體設(shè)計(jì);

    6、面對(duì)相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊(刮邊)功能;

     

    電源電壓:100V/ 60Hz 或110V/ 60Hz 或220V/ 50Hz

    旋轉(zhuǎn)涂敷:300 - 10000 r/min ;勻膠時(shí)間:1---9999秒

    轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性: ±0.1 %       ;最高轉(zhuǎn)速:10000 RPM

    基底材料適用范圍:

    (1)11英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合10英寸及以下和(7英寸*7英寸)180mm*180mm及以下規(guī)格的基底材料(如Wafer等)工作。

    (2)14英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合13英寸及以下規(guī)格的基底材料(如Wafer等)工作。

     

    本機(jī)同時(shí)在歐州、美國(guó)、大中華區(qū)(含新加坡、臺(tái)灣、香港、澳門(mén))等區(qū)域營(yíng)銷(xiāo)服務(wù),為方便全球各區(qū)域用戶語(yǔ)言使用習(xí)慣操作,因此在本機(jī)中設(shè)置存儲(chǔ)了中文和英文兩種全球主要官方語(yǔ)言程序。

                                                                                                      原裝附機(jī)設(shè)備與配件:

    1、高性能無(wú)油真空幫浦

    2、高性能滴膠機(jī)

    3、真空吸盤(pán):所選材質(zhì)為聚四氟乙烯,具有抗酸堿抗各種有機(jī)溶劑、耐高低溫、電絕緣性、無(wú)毒害、摩擦系數(shù)極低,可防止涂敷工作過(guò)程中任何膠液粘附。

    4、特殊裝片盤(pán) (選配)

    5,可增加去邊功能(選配)

    全套原裝標(biāo)準(zhǔn)化配件,原廠服務(wù)、使用效果更加保障。

    6,高性能空氣壓縮機(jī)

    原裝配件優(yōu)中選優(yōu),使用壽命更長(zhǎng)、性能更優(yōu)。

    國(guó)際專(zhuān)業(yè)化設(shè)計(jì),與科研工作環(huán)境相匹配、安全可靠、體驗(yàn)人本科技。

    國(guó)際專(zhuān)業(yè)化制造,材質(zhì)優(yōu)中選優(yōu),性能穩(wěn)定出色。

    國(guó)際專(zhuān)業(yè)化檢測(cè),標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格,國(guó)際質(zhì)量。

     

    全球首度整合真空吸附與盤(pán)式裝片工作狀態(tài),高強(qiáng)度材料、集多項(xiàng)尖端技術(shù)一體化集成。智能化操作,加之整體考究配套,使之性能更加安全、穩(wěn)定、可靠!

     

    創(chuàng)新與經(jīng)典完美結(jié)合,氣質(zhì)非凡,雍容華貴.

    下面請(qǐng)您根據(jù)需要涂敷基底材料的大小選擇相應(yīng)的旋涂?jī)x型號(hào):

     顏色:白灰色

    CPN-SC-ISO5560CE    

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺(tái)式一體化,即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體;

    2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下規(guī)格的Wafer工作;

    4、最普遍常用型號(hào)最受歡迎的旋轉(zhuǎn)涂敷儀系統(tǒng);

    CPN-SC-ISO5580CE    

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺(tái)式一體化,即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體;

    2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作;

    4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍(14英寸);

                                                                                                                                                                                             

    CPN-SC-ISO6560CE    

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng),即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置;

    2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下規(guī)格的Wafer工作;

     

    CPN-SC-ISO6580CE     

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng),即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置;

    2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作;

    4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍(14英寸);

                                                         

    CPN-SC-ISO8560CE     

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng),即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以?xún)?nèi)置式安裝,同時(shí)工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置;

    2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm(7英寸*7英寸)及以下規(guī)格的Wafer工作;

    CPN-SC-ISO8580CE     

    1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時(shí)內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng),即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以?xún)?nèi)置式安裝,同時(shí)工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置;

    2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體;

    3、可涂敷13英寸及以下規(guī)格的Wafer工作;

    4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍(14英寸);

                                                         

    高性能無(wú)油真空幫浦:

    優(yōu)勢(shì):

    超低真空,超低靜音,體積輕巧,外形美觀,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維修容易,更易保養(yǎng),完全無(wú)油氣,環(huán)保,保持工作環(huán)境免受污染。

     

    國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):真空幫浦鋁合金材質(zhì)構(gòu)造 

    安全:風(fēng)扇處外置式風(fēng)扇蓋,完全將在工作狀態(tài)下可能雜物進(jìn)入風(fēng)扇處而引起的不安全因素排除。

    幫浦表面處理按中國(guó)臺(tái)灣行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)處理:噴亮漆

    額定電壓/頻率 V/Hz:100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz

    熱保護(hù)器℃:自動(dòng)復(fù)位130±5℃

    最大真空度KPa:-740mmHg 

    最大空氣流量 m3/h:6.0m3/h      

    使用環(huán)境溫度 ℃:5-40℃

    絕緣等級(jí):B

    冷態(tài)絕緣電阻(常態(tài))MΩ:≥100MΩ

    耐電壓強(qiáng)度:1500V/50Hz 1min無(wú)擊穿

                                                   

    高性能滴膠機(jī):

    滴膠機(jī)采用數(shù)碼LED顯示,按鍵設(shè)定滴膠時(shí)間。能夠完成精確,一致的滴膠控制。

    進(jìn)氣壓力:60-100 PSI.

    電源電壓:100--240 V                  

     

    指標(biāo)參數(shù):

    電源:AC 220V±10%/50Hz 【 AC 110V±10%/60Hz(可以?xún)?nèi)部轉(zhuǎn)換)】

    消耗功率:<8W

    空氣源:最大0.99MPa (潔凈無(wú)潤(rùn)滑的干燥空氣)

    吐出壓力調(diào)節(jié)范圍:0.05MPa--0.99MPa

    吐出時(shí)間調(diào)節(jié)范圍:可調(diào)整DIP程式開(kāi)關(guān)組合得到多種時(shí)間模式

             0.01秒-1秒;0.1-10秒;0.2-20秒;0.3-30秒

    功能模式:手動(dòng)模式/半自動(dòng)模式(定量吐出)

    真空回吸功能:可調(diào)節(jié)負(fù)壓控制至600毫米汞柱

    重復(fù)精度及吐出頻率:精度:±+0.05%  頻率:600次/分

    最小吐出量:0.01ml

                                                                                                                                              

    超靜音無(wú)油空氣壓縮機(jī)(silent oil free air compressor)

    電壓(Volt./Hz):220V/50HZ

    功率(Power):3/4HP(550W)

    額定排氣量(L/min): 115L/MIN(0公斤)

    60L/MIN(4公斤)

    儲(chǔ)氣罐(Tank): 4L最大壓力(Pressure): 7 BAR

    壓力開(kāi)關(guān):5-7公斤重量(N.W): 24公斤

    外觀尺寸(Dimensions): 410*190*480

                                           

    中普尼智能科技有限公司                     

    CHINAPONY INTELLIGENT TECHNOLOGY CO.,LTD

    Office:+86-898-66655951                 

    Office:+86-898-66655952

    Http://www.chinapony.com                   

    E-mail:sales@chinapony.com   

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