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    包郵 關(guān)注:668

    智能硅片顯影機(jī)、凈化顯影機(jī)、自動顯影機(jī)、凈化涂膠機(jī)、中普尼顯影-勻膠一體機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    CHINAPONY 中普尼

    規(guī)格型號:

    CPN-PSD-100/OP

    發(fā)貨期限:

    三個工作日天

    庫       存:

    99999

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:CHINAPONY 中普尼

    型號:CPN-PSD-100/OP

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-涂膠設(shè)備-半自動勻膠機(jī)

    中普尼TM(chinaponyTM)公司是最早從事凈化半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品研制工作的企業(yè),為國際領(lǐng)先的凈化行業(yè)先驅(qū)之一。CPN-PSD-100/OP凈化顯影(勻膠)機(jī)是中普尼TM(chinaponyTM)公司多年來的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,一直暢銷于世界各地,廣泛應(yīng)用于機(jī)械電子、化工、醫(yī)藥衛(wèi)生、精密儀器制造、科研領(lǐng)域等行業(yè)。

    品牌:   英文品牌:CHINAPONYTM        中文品牌:中普尼 TM

    是行業(yè)內(nèi)唯一 一家入選“中國品牌大會暨建國六十周年全國品牌盤點表彰盛典”并榮獲"中國半導(dǎo)體行業(yè)影響力十大暢銷品牌"的全球頂級制造商!

    CPN-PSD-100/OP
    型凈化顯影機(jī):

           CPN-PSD-100/OP型凈化顯影機(jī)亦是CPN-PS系列產(chǎn)品的基礎(chǔ)品種之一,是半導(dǎo)體器件制造過程中的專用工藝設(shè)備,采用先進(jìn)的單片微型機(jī)程序自動控制,實現(xiàn)噴霧顯影工藝,電路清晰完整,由于控制系統(tǒng)穩(wěn)定,在進(jìn)行工藝中不飛片,顯影速度快(30S)和節(jié)省顯影液,主要用于科研和生產(chǎn)單位大規(guī)模集成電路和其他半導(dǎo)體器件的光刻工藝中作顯影之用。

           本機(jī)顯影工藝采用了先進(jìn)的噴霧方式,可根據(jù)工藝要求噴霧狀態(tài)電機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù),程序時間的工藝參數(shù)都可在很寬的數(shù)值范圍內(nèi)調(diào)整。其程序為延時吸片-顯影-漂洗-干燥-延時復(fù)位。

           采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整,特別是對較細(xì)線條電路采用此工藝可得到很高的效果。

           本設(shè)備除能顯影工藝外,亦可進(jìn)行涂膠工藝.

     

    主要技術(shù)指標(biāo):                                                   

    顯影工位:1個工位                                         

    程序時間:顯影 1-99秒或999秒

              漂洗 1-99秒或999秒                                       

              干燥 1-99秒或999秒                                                   

    旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分(連續(xù)可調(diào))                                        

    硅片直徑:Φ1—Φ100mm                                                                 

    凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))                                                

    操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒 

    氣流狀態(tài):垂直層流

    外形尺寸:1620mm(高)*650(寬)*800

    整機(jī)包裝重量:150KG

    氮氣源:N2管道或鋼瓶(進(jìn)氣壓力0.2-0.3MP/cm2

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    提問:
     

    請問改設(shè)備的噴霧束直徑大小多少?

    1346848  2017-07-26

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