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中普尼TM(chinaponyTM)公司是最早從事凈化半導(dǎo)體技術(shù)產(chǎn)品研制工作的企業(yè),為國際領(lǐng)先的凈化行業(yè)先驅(qū)之一。CPN-PSD-100/OP凈化顯影(勻膠)機(jī)是中普尼TM(chinaponyTM)公司多年來的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品,一直暢銷于世界各地,廣泛應(yīng)用于機(jī)械電子、化工、醫(yī)藥衛(wèi)生、精密儀器制造、科研領(lǐng)域等行業(yè)。
品牌: 英文品牌:CHINAPONYTM 中文品牌:中普尼 TM
是行業(yè)內(nèi)唯一 一家入選“中國品牌大會暨建國六十周年全國品牌盤點表彰盛典”并榮獲"中國半導(dǎo)體行業(yè)影響力十大暢銷品牌"的全球頂級制造商!
CPN-PSD-100/OP型凈化顯影機(jī):
CPN-PSD-100/OP型凈化顯影機(jī)亦是CPN-PS系列產(chǎn)品的基礎(chǔ)品種之一,是半導(dǎo)體器件制造過程中的專用工藝設(shè)備,采用先進(jìn)的單片微型機(jī)程序自動控制,實現(xiàn)噴霧顯影工藝,電路清晰完整,由于控制系統(tǒng)穩(wěn)定,在進(jìn)行工藝中不飛片,顯影速度快(30S)和節(jié)省顯影液,主要用于科研和生產(chǎn)單位大規(guī)模集成電路和其他半導(dǎo)體器件的光刻工藝中作顯影之用。
本機(jī)顯影工藝采用了先進(jìn)的噴霧方式,可根據(jù)工藝要求噴霧狀態(tài)電機(jī)的轉(zhuǎn)數(shù),程序時間的工藝參數(shù)都可在很寬的數(shù)值范圍內(nèi)調(diào)整。其程序為延時吸片-顯影-漂洗-干燥-延時復(fù)位。
采用噴霧顯影工藝后電路圖形清晰完整,特別是對較細(xì)線條電路采用此工藝可得到很高的效果。
本設(shè)備除能顯影工藝外,亦可進(jìn)行涂膠工藝.
主要技術(shù)指標(biāo):
顯影工位:1個工位
程序時間:顯影 1-99秒或999秒
漂洗 1-99秒或999秒
干燥 1-99秒或999秒
旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分(連續(xù)可調(diào))
硅片直徑:Φ1—Φ100mm
凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒
氣流狀態(tài):垂直層流
外形尺寸:1620mm(高)*650(寬)*800
整機(jī)包裝重量:150KG
氮氣源:N2管道或鋼瓶(進(jìn)氣壓力0.2-0.3MP/cm2)
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