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    zeiss 掃描電子顯微鏡ΣIGMA 300/500（熱場）

    應(yīng)用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設(shè)備-顯微鏡分類-電子顯微鏡

    庫       存：

    11

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體測試設(shè)備-顯微鏡分類-電子顯微鏡

     特點：
    1、利用最新探測術(shù)為您的需求定制 ，表征所有樣品
    2、利用in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息
    3、利用新一代的二次探測器，獲取高達50%的信號圖像
    4、將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：一流的背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品
    5、在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)
    6、獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果
    技術(shù)指標：
    1、分辨率：1.3nm@20KV 1.5nm@15KV 2.8nm@1KV 
    2、放大倍數(shù)：12 – 1,000,000x 
    3、加速電壓：0.1-30KV 
    4、探針電流：4 pA - 20 nA (4pA-40nA 可選) 
    5、樣品室：330 mm (φ) x 270 mm (h) 
    6、樣品臺：5軸優(yōu)中心全自動
    X = 125 mm 
    Y = 125 mm 
    Z = 50mm 
    T = 0 - 90° 
    R = 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) 
     

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