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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備 » 顯微鏡分類 » 電子顯微鏡 »SEM 電子顯微鏡
    包郵 關(guān)注:521

    SEM 電子顯微鏡

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-顯微鏡分類-電子顯微鏡

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     場(chǎng)發(fā)射掃描式電子顯微鏡(可遠(yuǎn)程遙控)FE-SEM 型號(hào):MIRA II-LMH 


    技術(shù)參數(shù)

    1.
    分辨率:高真空(SE)1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV
    2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
    2.
    放大倍數(shù):4 to 1000000x
    3.
    真空系統(tǒng):樣品室<9*10 -3Pa,槍體真空<3*10 -7Pa
    4.
    加速電壓0.5kV to 30Kv
    5.
    電子束電流2pA—100nA
    6.
    樣品室內(nèi)部直徑:230mm
    7.
    樣品臺(tái)行程: (5軸馬達(dá)控制)
      X=80mm——
    馬達(dá)控制
      Y=60mm——
    馬達(dá)控制
      Z=47mm——
    馬達(dá)控制
      R=360°
    連續(xù)馬達(dá)控制
      T=-75°to50°
    馬達(dá)控制
      
    最大樣品高度60mm.


    主要特點(diǎn)

    國內(nèi)唯一一家使用中文操作界面的電鏡廠商
    1.
    電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中;
    2.
    可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;
    3.
    紅外線樣品室內(nèi)**裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品;
    4.
    真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵,電子槍部分使用離子泵,抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
    5.
    采用氣墊減震系統(tǒng)
    6.
    先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
    7.11
    個(gè)外擴(kuò)展接口.
    8.
    可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

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    提問:
     

    設(shè)備的分辨率、放大率怎么樣?。?

    sdmm  2017-08-11

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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