C50系列氣體質量流量計/控制器

特點：量程范圍0ML-30L之間可選擇，小體積。氣體質量流量控制器具有檢測流量同時控制流量的大小的功能，有文件稱呼為質量流量計，但質量流量計可能只是指檢測功能的質量流量計，因此在定貨時請尊敬的用戶朋友你一定要注給我們的銷售工作人員說清楚，是需要控制流量大小且檢測流量的MFC還是只是檢測流量大小的MFM，這很重要！

商品介紹
規(guī)格參數(shù)

氣體質量流量控制器具有檢測流量同時控制流量的大小的功能，有文件稱呼為質量流量計，但質量流量計可能只是指檢測功能的質量流量計，因此在定貨時請尊敬的用戶朋友你一定要注給我們的銷售工作人員說清楚，是需要控制流量大小且檢測流量的MFC還是只是檢測流量大小的MFM，這很重要?。?！

概要

C50系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。

氣體質量流量控制器可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。

我司產品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。

特點

o 分別有模擬式熱質式流量計/流量控制器：

- 低單價，穩(wěn)定性能好。

-   環(huán)境溫度補正

-   氣體質量流量控制器可應用的流率范圍廣,量程可選：

-   0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

-   0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

o 具有高精度

      ±1%(≤15SLM)

      ±2%(＞15SLM.)

o    可選用C系列控制模塊控制氣體質量流量控制器，它具有數(shù)位顯示、電源供應、流量設定等功能

o    國際兼容

應用

o    工業(yè)設施的氣體供應監(jiān)測/控制。

o    氣體分析設備。

o    固定氣體流量控制。

o    氣體質量流量控制器同時應用于氣體混合或分離設備的流量控制。

質量流量控制器流量范圍是以mL/min，L/min 為單位

例：

5mL/min 表示為005

500mL/min表示為500

50 L/min(nor) 表示為50L

C50系列氣體質量流量計/控制器

應用于半導體行業(yè)：

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