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    包郵 關(guān)注:243

    氣體質(zhì)量流量控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體器件-MFC

    庫       存：

    1000000

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體器件-MFC

     一、 產(chǎn)品概述

    采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

    該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。

     

     二技術(shù)參數(shù)（本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗(yàn)）

    2.1  測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

    2.2   流量范圍：   DN3   100-1000mL/min

                          DN4    250-2500mL/min

                          DN6     1000-10000mL/min

                          DN8    1500-15000mL/min  

               DN10   2500-25000mL/min             

                    注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

    (b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

    2.3   流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS

    2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

    2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

    2.6   供電電源：24VDC±10%；

    2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

    2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；

    2.9   顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

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