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是行業(yè)內(nèi)唯一 一家入選“中國品牌大會暨建國六十周年全國品牌盤點(diǎn)表彰盛典”并榮獲"中國半導(dǎo)體行業(yè)影響力十大暢銷品牌"的全球頂級制造商!
中普尼TM (CHINAPONYTM)智能勻膠機(jī)概述:
Spin Coater ,中文:勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、光阻旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、精密旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)、高精度勻膠機(jī)旋涂儀等,主要用于液體、膠體在材料表面薄膜的形成.中普尼TM(CHINAPONYTM)智能勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、微電子、新型材料(硅片、玻璃、陶瓷、載玻片、液晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、砷化鎵、華陽板等材料)的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝,應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用,為微電子、光電子及太陽能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一. 中普尼TM(CHINAPONYTM)的Spin Coater客戶群遍布全球著名的高校、科研院所和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)中心,為全球范圍內(nèi)使用頻率最高的勻膠機(jī)亦是最受歡迎的Spin Coating.
Spin Coater:CPN-KW-10A型號簡述(國際品質(zhì)、萬級轉(zhuǎn)速、精度更高、性能更強(qiáng)、Wafer涂敷尺寸更大)
本機(jī)搭載高智能電腦控制系統(tǒng):其卓越的操作系統(tǒng)非常穩(wěn)定,可實(shí)現(xiàn)均勻調(diào)速,且轉(zhuǎn)速更高,最高轉(zhuǎn)速為10000轉(zhuǎn),最低轉(zhuǎn)速300轉(zhuǎn);精度更加精確,其穩(wěn)定度為±0.1 %,為國際行業(yè)最高標(biāo)準(zhǔn);吸力更強(qiáng),噪音更低; 時間預(yù)設(shè)以秒為精度,勻膠時間最長可達(dá)9999秒,制膜過程控制更加精確;采用優(yōu)質(zhì)智能伺服電機(jī),保證了電機(jī)的壽命,使電機(jī)運(yùn)行更平穩(wěn);整體靜音結(jié)構(gòu),配置優(yōu)質(zhì)軸承,靜音電機(jī),確保電機(jī)運(yùn)行寧靜;可以預(yù)設(shè)置七種不同規(guī)格尺寸Wafer的工作程序 ,每段工作程序又可以設(shè)置25步不同的旋轉(zhuǎn)涂敷速度狀態(tài),同時LED同步即時顯示詳細(xì)的工作狀態(tài):段數(shù)程序、時間、速度、真空狀態(tài)等詳細(xì)指標(biāo)參數(shù),并 LED節(jié)能燈設(shè)計,低功率、低能耗。
具有雙重保險功能,內(nèi)置高靈敏度真空度傳感器,高智能電腦控制系統(tǒng)實(shí)時檢測每段勻膠工作程序真空度,使吸附中的Wafer更加堅(jiān)固、最大可能避免了甩片導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)失敗的現(xiàn)象;
本機(jī)在啟動時,若系統(tǒng)真空度未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài),高智能電腦控制系統(tǒng)具有自動停機(jī)保護(hù)性能,避免Wafer的破損和膠液的浪費(fèi)。
導(dǎo)入無需修理,以更換部件為理念的A/S系統(tǒng)。
CPN-KW-10A外觀表面由工業(yè)級不銹鋼構(gòu)造,采用綜合性能較強(qiáng)的表面拉絲處理生產(chǎn)工藝,具有良好的不銹性和耐化學(xué)介質(zhì)腐蝕等良好性能,其機(jī)身流線型支架經(jīng)全方位工業(yè)造型精心設(shè)計,柔美不失穩(wěn)重、簡潔美觀、堅(jiān)固耐用、穩(wěn)定性更強(qiáng)、使用壽命更長。
本機(jī)同時在歐州、美國、大中華區(qū)(含新加坡、臺灣、香港、澳門)等區(qū)域營銷服務(wù),為方便全球各區(qū)域工作者語言使用習(xí)慣操作,因此在本機(jī)中設(shè)置存儲了中文和英文兩種主要官方語言程序。
電源電壓:100V /60Hz 或110V /60Hz 或 220V/ 50Hz
勻膠轉(zhuǎn)速:300 - 10000r/min ; 勻膠時間:1--9999 秒
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±0.1 % ; 最高轉(zhuǎn)速10000RPM.
尺寸:260mm(寬) x 350mm(深) x 260 mm(高)
適合:¢1-¢170mm(6.7”及6.7”以下)硅片及其它化合物等材料薄膜.
1,基底材料工作腔體與安全蓋板:
便攜式DIY工作腔體和真空吸盤,由天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造,具有防污、防塵、防撞擊、防酸堿、防腐蝕、易清潔等良好優(yōu)點(diǎn),具備高強(qiáng)度的防刮劃能力,即便出現(xiàn)跌落、亂擦等狀況亦不會影響;同時不僅方便直接觀察涂敷工作過程亦可防止光刻膠等膠液飛濺腔體外,其光滑的內(nèi)壁工作腔體結(jié)構(gòu)不僅方便膠液的回收亦可方便清洗,使得工作更加環(huán)保、凈化、人性化。安全蓋板由高分子材料聚甲基丙烯酸甲酯構(gòu)造,其化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,具有耐沖擊性、耐久性、耐侯性、耐燃性、絕緣性良好、對人體無毒,更有極高的透明性,可在實(shí)驗(yàn)工作中隨時觀察旋涂過程。
2,最大旋涂負(fù)載:額定正常最大承載直徑170毫米的晶圓片或者125x125毫米的方片.
3,原裝標(biāo)準(zhǔn)輔機(jī)設(shè)備:(1)高真空度無油真空幫浦一臺(2)原裝天然聚丙烯真空吸盤兩個。
4,高真空度無油真空幫浦系統(tǒng):質(zhì)地結(jié)實(shí)耐用,光滑堅(jiān)硬,持久耐磨,鋁合金壓鑄,壽命長久,精密組合,靈活運(yùn)轉(zhuǎn),高效散熱,減低馬達(dá)溫度,可防止雜物進(jìn)入和人體傷害。
1,額定電壓/頻率 V/Hz:100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz
2,重新啟動壓力:0KPa
3,最大空氣流量 m3/h:5.1m3/h
4,最大真空度KPa:-740mmHg 。
Item |
Specification |
Power |
100V /60Hz or 110V /60Hz or 220V/50Hz |
Speed range |
300 - 10000 r/min |
Speed stability |
±0.1 % |
Glue uniformity time |
1 -- 9999(S) |
Application |
¢1-¢170mm silicon and other materials |
Vacuum pump |
Vacuum pump exhaust rate 5.1m3/h |
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