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納米壓印模塊
(特色NIL技術)
OAI納米壓印模塊系統(tǒng)是一種模塊化附件,可用于任何光刻機。 這種創(chuàng)新技術是由Hewlett Packard開發(fā)的一種低成本的研究和開發(fā)解決方案。 它使得能夠使用高產率脫模技術,并且適用于幾乎所有的光刻機系統(tǒng)。
Nanoimprint ModuleThe OAI Nanoimprint Module System is a modular add-on that may be used on any mask Aligner. This innovative technology was developed at Hewlett Packard as a low-cost solution for research and development efforts. It enables the use of high-yield mold release technology and is adaptable to virtually all mask Aligner systems.
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